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摻鋁氧化鋅薄膜的退火真空度和氬離子濺射清洗工藝控制
摻鋁氧化鋅薄膜（ AZO ）成本低廉、無毒環(huán)保，溶膠凝膠法制備 AZO 薄膜具有工藝簡單、成膜均勻性好、易于精確摻雜等優(yōu)點(diǎn)，而后續(xù)處理工藝則是提高溶膠凝膠法制備的透明導(dǎo)電薄膜性能的關(guān)鍵。為此我們研究 105 到 10-4 Pa 大真空度范圍退火條件下的電阻率變化規(guī)律，發(fā)現(xiàn)：電阻率的降低集中在相對狹窄的真空度范圍，其中在 100 Pa 到 10 Pa 之間，電阻率陡降了 2 個(gè)數(shù)量級(jí)。電阻率在 10 Pa 退火時(shí)達(dá)到最小值，繼續(xù)提高真空度（減低氣壓），電阻率不再繼續(xù)降低。這一研究結(jié)果不僅澄清了以往對溶膠 - 凝膠法制備透明薄膜后續(xù)工藝處理的模糊認(rèn)識(shí)，而且對實(shí)際生產(chǎn)工藝具有重要的指導(dǎo)意義，例如以此為根據(jù)，選擇合適的真空度退火，達(dá)到既滿足產(chǎn)品的性能指標(biāo)，又能節(jié)能減排的最佳效果。 XRD 與 XPS 的分析表明中真空下氧空位、鋅填隙、以及 Al3+ 對 Zn2+ 離子的取代是中真空度下電阻率陡降的主要原因。此外，利用 Ar+ 離子對退火后的樣品進(jìn)行反濺射清洗，能進(jìn)一步提高電導(dǎo)率。更重要的是能在薄膜表面形成具有一定的凹凸起伏的絨面結(jié)構(gòu)，能將入射太陽光分散到各個(gè)角度。用作太陽能電池電極時(shí)，能有效增強(qiáng)太陽能電池內(nèi)的光吸收材料對入射太陽光的捕獲，提高光能利用率。
遼寧大學(xué)
2021-04-11
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一種基于金屬基平面納尖簇電極的電調(diào)透光率薄膜
本發(fā)明公開了一種基于金屬基平面納尖簇電極的電調(diào)透光率薄膜，其包括：由金屬平面納尖簇線密集排布構(gòu)成的一層圖案化陽極和一層平面金屬納膜陰極/陽極，它們被分別制作在透光的納米厚度的基膜/光學(xué)介質(zhì)層的兩個(gè)外表面上；在加電態(tài)下，圖案化陽極中的金屬平面納尖與金屬納膜陰極/陽極間形成局域彎曲的銳化電場陣，陰極/陽極上可自由移動(dòng)的電子被陰陽電極間所激勵(lì)的陣列化納電場驅(qū)控，向各納電場中電場強(qiáng)度最強(qiáng)部位聚集。本發(fā)明基于金屬基平面納尖簇電
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種基于金屬平面微納線尖電極的電調(diào)透光率薄膜
本發(fā)明公開了一種基于金屬平面微納線尖簇電極的電調(diào)透光率薄膜，其包括：由金屬平面微納線尖有序密集排布構(gòu)成的一層圖案化陰極和一層平面陽極，它們被分別制作在一層納米厚度的透光基膜/電絕緣膜的上下表面；在加電態(tài)下，陰極上可自由移動(dòng)的電子被陰陽電極間所激勵(lì)的電場驅(qū)控，向金屬平面微納線尖簇其各納線尖頂聚集，納線尖金屬電連接線上的自由電子分布密度因部分甚至絕大多數(shù)電子被納線尖頂抽走而減少甚至急劇降低。本發(fā)明基于金屬平面微納線尖
華中科技大學(xué)
2021-04-14
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一種小容量薄膜電容永磁同步電機(jī)直軸電流給定控制方法
本發(fā)明公開了一種小容量薄膜電容永磁同步電機(jī)直軸電流給定控制方法，采用小容量的薄膜電容，代替?zhèn)鹘y(tǒng)功率電路中的大容量電解電容，相比傳統(tǒng)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，小容量薄膜電容變頻系統(tǒng)體積得到減小，重量得到減輕。本發(fā)明不需要考慮波動(dòng)的母線電壓對交直軸參考電流的影響，相比于傳統(tǒng)的直軸電流給定方式更簡單有效；交直軸電壓給定經(jīng)過陷波器，濾除特定次諧波分量，電流控制器采用內(nèi)
東南大學(xué)
2021-04-14
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一種基于 SnO2的鈣鈦礦薄膜光伏電池及其制備方法
本發(fā)明涉及一種鈣鈦礦薄膜光伏電池及其制備方法。所述的鈣鈦礦薄膜光伏電池采用可低溫制備的 SnO2 作為電子傳輸層，用以取代傳統(tǒng)的需要高溫?zé)Y(jié)的 TiO2 電子傳輸層。這種基于低溫制備的 SnO2 電子傳輸層的鈣鈦礦薄膜光伏電池取得了14.60%的高光電轉(zhuǎn)化效率，大大優(yōu)于基于傳統(tǒng)高溫?zé)Y(jié)的TiO2 電子傳輸層的鈣鈦礦太陽電池。SnO2 薄膜的化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定而且制備過程簡單，極大地簡化鈣鈦礦電池 的制備流程，有效地降低電池的制作成本，也能很好的改善鈣
武漢大學(xué)
2021-04-14
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納米多層類金剛石（DLC）薄膜提高發(fā)動(dòng)機(jī)給油系統(tǒng)摩擦副壽命
目前我國開始發(fā)展單體泵燃油噴射系統(tǒng)以使發(fā)動(dòng)機(jī)的排放達(dá)到歐III排放標(biāo)準(zhǔn)，這對于我國節(jié)約能源、保護(hù)環(huán)境、降低車輛運(yùn)輸成本等具有重要意義。本項(xiàng)目開發(fā)對單體泵內(nèi)的關(guān)鍵零件—柱塞進(jìn)行表面改性的工業(yè)化應(yīng)用技術(shù)，使表面改性處理的柱塞不僅具有優(yōu)異的耐磨壽命（顯著優(yōu)于表面覆有TiN薄膜的柱塞），同時(shí)具有很低的摩擦系數(shù)（為TiN薄膜的～1/6），使柱塞/泵體摩擦副均具有高度的壽命水平和保持長期精度。
西南交通大學(xué)
2021-04-13
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環(huán)境友好的寬溫高穩(wěn)性薄膜儲(chǔ)能電容器的開發(fā)與研究
我們已采用磁控濺射沉積方法成功地制備和研究了環(huán)境友好的鈦酸鋇和鉍鎂鋯鈦氧的復(fù)合薄膜，發(fā)現(xiàn)其儲(chǔ)能密度和儲(chǔ)能效率在-100~200 °C溫度區(qū)間內(nèi)都表現(xiàn)出了良好的熱穩(wěn)定性，并且其寬溫儲(chǔ)能密度明顯高于鉛基材料在這個(gè)溫度區(qū)間報(bào)道的最大值，使其成為替代鉛基儲(chǔ)能材料的最佳選擇。為了降低生產(chǎn)成本，目前我們正在通過研究和調(diào)控薄膜的生長工藝來實(shí)現(xiàn)在成本低廉的Si、Ni等襯底上制備大面積、高質(zhì)量、高性能的復(fù)合儲(chǔ)能薄膜。
西安交通大學(xué)
2021-04-11
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一種基于超磁致伸縮薄膜驅(qū)動(dòng)器的平面線圈驅(qū)動(dòng)式微閥
本發(fā)明公開了一種基于超磁致伸縮薄膜驅(qū)動(dòng)器的平面線圈驅(qū)動(dòng)式微閥，包括下閥體 （1）、依次壓疊在下閥體（1）上的基片（3）、上閥體（4）和平面螺旋線圈（6），下閥 體的底部沿徑向方向分別設(shè)有進(jìn)液流道（2）和出液流道（11），下閥體的上部設(shè)有液體腔 （13），進(jìn)液流道（2）設(shè)有垂直向上的與液體腔連通的流道口，出液流道（11）與所述液 體腔連通；基片（3）上表面鍍有具有逆磁致伸縮效應(yīng)薄膜（7），下表面鍍有具有正磁致伸 縮效應(yīng)薄膜（9）；平面螺旋線圈（6）通電后，磁致伸縮薄膜驅(qū)動(dòng)器在激勵(lì)磁場的作用下發(fā) 生形變向上彎曲，使得工作流體通道打開，實(shí)現(xiàn)液壓系統(tǒng)回路的通斷。本發(fā)明具有體積小、 易于微型化、響應(yīng)速度快、可控性強(qiáng)等特點(diǎn)。
安徽理工大學(xué)
2021-04-13
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提升結(jié)晶小分子半導(dǎo)體在n型有機(jī)薄膜晶體管柔性方面的研究
該研究提出了聚合物粘合劑的新型策略，通過合成一個(gè)柔性的共軛n型聚合物，使其能夠作為一種粘合劑粘合小分半導(dǎo)體的晶界，提升其機(jī)械性能，實(shí)現(xiàn)了柔性有機(jī)晶體管器件。這種聚合物能有效地抑制小分子和聚合物之間的相分離，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了晶粒間的粘合作用。
南方科技大學(xué)
2021-04-14
一種閾值電壓可調(diào)的薄膜晶體管作為非易失性存儲(chǔ)器的用途
本發(fā)明公開了一種閾值電壓可調(diào)的薄膜晶體管作為非易失性存儲(chǔ)器的用途，薄膜晶體管的頂柵、阻擋層、存儲(chǔ)層、隧穿層及溝道層構(gòu)成了頂柵型存儲(chǔ)器；薄膜晶體管的溝道層、底柵氧化層及底柵構(gòu)成了底柵型TFT。通過對頂柵型存儲(chǔ)器進(jìn)行操作實(shí)現(xiàn)非易失性存儲(chǔ)器的“編程/擦除”操作，通過對底柵型TFT進(jìn)行操作實(shí)現(xiàn)非易失性存儲(chǔ)器的“讀”操作。“編程/擦除(Program/Erase,P/E)”和“讀”操作的分離，提升了存儲(chǔ)器的存儲(chǔ)窗口、可靠性以及工作速度等的性能。
東南大學(xué)
2021-04-11