一種基于超磁致伸縮薄膜驅動器的平面線圈驅動式微閥

高端裝備制造

本發明公開了一種基于超磁致伸縮薄膜驅動器的平面線圈驅動式微閥，包括下閥體

（1）、依次壓疊在下閥體（1）上的基片（3）、上閥體（4）和平面螺旋線圈（6），下閥

體的底部沿徑向方向分別設有進液流道（2）和出液流道（11），下閥體的上部設有液體腔

（13），進液流道（2）設有垂直向上的與液體腔連通的流道口，出液流道（11）與所述液

體腔連通；基片（3）上表面鍍有具有逆磁致伸縮效應薄膜（7），下表面鍍有具有正磁致伸

縮效應薄膜（9）；平面螺旋線圈（6）通電后，磁致伸縮薄膜驅動器在激勵磁場的作用下發

生形變向上彎曲，使得工作流體通道打開，實現液壓系統回路的通斷。本發明具有體積小、

易于微型化、響應速度快、可控性強等特點。

試用