基于超材料的肖特基型毫米波多譜信號(hào)探測(cè)器和制備方法

人工智能

本發(fā)明公開了一種基于超材料的肖特基型毫米波多譜信號(hào)探測(cè)

器，包括自下而上依次設(shè)置的襯底層、N 型砷化鎵層、二氧化硅層與

超材料層、歐姆電極和肖特基電極；其中超材料層為具有周期性微納

米結(jié)構(gòu)的金屬開環(huán)共振單元陣列，所述金屬開環(huán)共振單元陣列包含了

多種圖形及其特征尺寸參數(shù)，每個(gè)圖形對(duì)于特定電磁波具有完全吸收

特性，通過改變金屬開環(huán)共振單元的結(jié)構(gòu)和尺寸參數(shù)可以調(diào)控對(duì)應(yīng)的

電磁波吸收頻段，通過改變 N 型砷化鎵的耗盡層寬度可以調(diào)控超材料

試用