一種基于 MEMS 系統的高靈敏度高分辨率的 微型溫度傳感器及監測方法
本發明涉及一種基于 MEMS 系統的高靈敏度高分辨率的微型溫度傳感器及監測方法，包括兩組 V 型彎曲梁組件，其中每組 V 型彎曲梁組件包括若干上下疊放的 V 型梁，所述每組 V 型彎曲梁組件的所 有 V 型梁同中心，且同時固定在一個固定塊上；兩組 V 型彎曲梁組件通過連接桿與固定在一個杠桿的 一端，所述杠桿另一端設有壓電陶瓷，壓電陶瓷的上下斷面分別是接電的上電極和下電極。本發明可以 感應極其微小的溫度變化并且將之轉換為較大的電信號輸出，能夠顯著
武漢大學
2021-04-14
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