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本發(fā)明公開了一種四自由度倒裝鍵合頭，包括一個(gè)基于滾珠花鍵副的兩自由度串聯(lián)機(jī)構(gòu)、一個(gè)兩自由度的并聯(lián)機(jī)構(gòu)和吸嘴。在串聯(lián)機(jī)構(gòu)中，滾珠花鍵軸通過轉(zhuǎn)動(dòng)副與滑塊相連，驅(qū)動(dòng)滑塊實(shí)現(xiàn)倒裝鍵合頭 Z 方向的移動(dòng)；其套筒通過另一轉(zhuǎn)動(dòng)副固定在機(jī)架上，驅(qū)動(dòng)與套筒固連的撥叉實(shí)現(xiàn)倒裝鍵合頭 Z 方向的轉(zhuǎn)動(dòng)；并聯(lián)機(jī)構(gòu)由上、下平臺(tái)，以及連接兩者的一條固定支鏈和兩條運(yùn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)支鏈組成，驅(qū)動(dòng)兩條運(yùn)動(dòng)支鏈中的移動(dòng)副實(shí)現(xiàn)倒裝鍵合頭 X、Y 方向的微小轉(zhuǎn)動(dòng)；并聯(lián)機(jī)構(gòu)的上平臺(tái)與滾珠花鍵軸固定連接，下平臺(tái)安裝拾取/貼放裸芯的吸嘴。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了倒裝

本發(fā)明屬于晶圓鍵合技術(shù)，為一種短波長(zhǎng)光輔助硅片直接鍵合方法，其步驟包括：①清洗；②氧化性氨溶液活化；③將硅片用短波長(zhǎng)光繼續(xù)輔助活化，活化后取出；短波長(zhǎng)光的波長(zhǎng)范圍為 100～400nm，短波長(zhǎng)光照射光強(qiáng)為 5～30mW/cm²，活化時(shí)間為 0.5～30分鐘；④預(yù)鍵合；⑤退火。經(jīng)過短波長(zhǎng)光輔助活化處理后的鍵合硅片對(duì)結(jié)合緊密，無需外壓力作用就能實(shí)現(xiàn)硅硅直接鍵合。本發(fā)明所需設(shè)備簡(jiǎn)單，鍵合速度快，鍵合周期短，鍵合面積大，鍵合溫度低，且在鍵合強(qiáng)度及鍵合可靠性上具有

本發(fā)明屬于芯片貼裝設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域，并公開了一種面向芯片的 倒裝鍵合貼裝設(shè)備，包括晶元移動(dòng)單元、頂針單元、大轉(zhuǎn)盤單元、小 轉(zhuǎn)盤單元、基板進(jìn)給單元)、貼裝運(yùn)動(dòng)單元，以及作為以上各單元安裝 基礎(chǔ)的支架等，其中晶元移動(dòng)單元可對(duì)晶元盤實(shí)現(xiàn)三自由度運(yùn)動(dòng)并實(shí) 現(xiàn)晶元的供給;大轉(zhuǎn)盤單元將脫離晶元盤的芯片精度轉(zhuǎn)移至吸嘴上， 然后由小轉(zhuǎn)盤單元對(duì)芯片逐一拾取;基板進(jìn)給單元實(shí)現(xiàn)貼裝基板的進(jìn) 給運(yùn)動(dòng)，貼裝運(yùn)動(dòng)單元?jiǎng)t將拾取完芯片的小轉(zhuǎn)盤運(yùn)動(dòng)至基板貼裝位置， 最終實(shí)現(xiàn)芯片的貼裝。通過本發(fā)明，各個(gè)模塊單元之間相互聯(lián)系，共 同協(xié)作，顯

產(chǎn)品詳細(xì)介紹

成都華芯眾合電子科技有限公司位于成都高新技術(shù)開發(fā)區(qū)，是專業(yè)從事高等院校教學(xué)、科研及軟件研發(fā)、生產(chǎn)、銷售服務(wù)于一體的高新技術(shù)企業(yè)。產(chǎn)品適用于物理、材料、電子、光電等理工科專業(yè)教學(xué)和相關(guān)科研領(lǐng)域。

青島永合創(chuàng)信電子科技有限公司是國(guó)內(nèi)專業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)、銷售實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備的公司，擁有自主品牌“CREATRUST”的冷凍干燥機(jī)、實(shí)驗(yàn)室器皿清洗機(jī)、不銹鋼凍存架、凍存盒等系列產(chǎn)品。公司總部位于青島市城陽區(qū)祥陽路106號(hào)青島未來科技產(chǎn)業(yè)園，公司擁有實(shí)驗(yàn)室儀器領(lǐng)域?qū)I(yè)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、售后團(tuán)隊(duì)以及完善的生產(chǎn)設(shè)施和質(zhì)量管理體系。

西安科技大學(xué)自 2003 年開始就對(duì)蛋白質(zhì)塑料進(jìn)行了研究，隨后將超細(xì)煤粉作為功能填料引入其中，對(duì)不同變質(zhì)程度的煤、煤的氧化預(yù)處理、灰分含量等對(duì)復(fù)合材料的影響進(jìn)行了系統(tǒng)性研究。目前此項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)成熟，獲批發(fā)明專利一項(xiàng)。

煤炭氣化，即在一定溫度、壓力下利用氣化劑與煤炭反應(yīng)生成潔凈合成氣（CO、H2的混合物），是實(shí)現(xiàn)煤炭潔凈利用的關(guān)鍵，可為煤基化學(xué)品（合成氨、甲醇、烯烴等）、整體煤氣化聯(lián)合循環(huán)發(fā)電（IGCC）、煤基多聯(lián)產(chǎn)、直接還原煉鐵等系統(tǒng)提供龍頭技術(shù)，為現(xiàn)代能源化工、冶金等行業(yè)的技術(shù)改造和節(jié)能降耗提供技術(shù)支撐。 多噴嘴對(duì)置式干煤粉加壓氣化技術(shù)是世界上最先進(jìn)的氣流床氣化技術(shù)之一。干煤粉經(jīng)四個(gè)對(duì)置的噴嘴彌散后進(jìn)入氣化爐（可以是耐火磚為襯里，也可以以水冷壁做襯里）內(nèi)，與氧氣反應(yīng)生成含CO、H2和CO2的合成氣，從氣化爐出來的粗合成氣經(jīng)新型洗滌冷卻室、混合器、旋風(fēng)分離器和水洗塔等設(shè)備的洗滌和冷卻后進(jìn)入后序工段；氣體洗滌設(shè)備內(nèi)的黑水則經(jīng)高溫?zé)崴M(jìn)行熱量回收和除渣后成為灰水再返回氣體洗滌設(shè)備內(nèi)，全氣化系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)零排放。 該技術(shù)煤種適應(yīng)性廣，如果采用水冷壁襯里，則可氣化灰熔點(diǎn)超過1500℃的煤種，具有廣闊的應(yīng)用前景。 該技術(shù)工藝指標(biāo)先進(jìn)，以耐火磚襯里氣化爐、北宿精煤進(jìn)料為例，其合成氣中（CO+H2）含量89%～92%，碳轉(zhuǎn)化率>98%，與水煤漿進(jìn)料相比，比氧耗降低16%～21%、比煤耗2%～4%。該技術(shù)生產(chǎn)強(qiáng)度大，專利實(shí)施許可費(fèi)低。

大型火電廠鍋爐燃燒的煤粉是由一次風(fēng)攜帶經(jīng)煤粉管進(jìn)入爐膛燃燒，煤粉的細(xì)度及各煤粉管之間煤粉濃度的不均勻性都會(huì)對(duì)鍋爐的燃燒有很大影響。若各個(gè)燃燒器中的煤粉濃度相差太大，則燃燒不能很好組織，會(huì)引起火焰偏斜、結(jié)焦、燃燒不穩(wěn)等。而煤粉細(xì)度過大或過小則會(huì)造成機(jī)械不完全燃燒損失增大、鍋爐效率下降、磨煤機(jī)能耗增加等。此外，在煤粉管道設(shè)計(jì)、安裝、運(yùn)行不當(dāng)時(shí)，還會(huì)引起煤粉管道的堵塞，嚴(yán)重時(shí)機(jī)組將被迫減負(fù)荷或甚至停機(jī)來消除堵塞。此外，各燃燒器的煤粉濃度不平衡還將大大增加NOX的產(chǎn)生，加重空氣污染。 LF－1000煤粉（粉體）顆粒在線監(jiān)測(cè)儀是一種專為解決上述問題而研制開發(fā)的基于光脈動(dòng)法原理和相關(guān)法原理的新型在線測(cè)量?jī)x器。它可以測(cè)量煤粉顆粒的平均粒度、濃度和速度。儀器由主機(jī)、測(cè)量探針、計(jì)算機(jī)等組成，操作軟件具有良好的人機(jī)對(duì)話界面，使用簡(jiǎn)單，測(cè)量時(shí)間短等優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量結(jié)果實(shí)時(shí)顯示在計(jì)算機(jī)屏幕上，同時(shí)可與控制室或監(jiān)測(cè)中心通訊。 它還可用于粉體、水泥、石化、化工、醫(yī)藥等行業(yè)在線測(cè)量各種粉體顆粒以及環(huán)境排放監(jiān)測(cè)等。 有便攜式和固定式2種。固定式在線監(jiān)測(cè)儀可同時(shí)監(jiān)測(cè)多達(dá)24根管道的顆粒粒度、濃度和速度。 目前國(guó)際上還沒有能同時(shí)測(cè)量這些參數(shù)的儀器。 主要性能指標(biāo)1． 光           源：長(zhǎng)壽命半導(dǎo)體激光器2． 顆粒粒徑測(cè)量范圍：10－500微米； 3． 顆粒濃度測(cè)量范圍：0.1－10kg/m3； 4． 重復(fù)測(cè)量誤差：   ＜5％ (用國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)顆粒檢驗(yàn))； 5． 工作環(huán)境溫度：   0－90 ℃； 6． 可與其它系統(tǒng)通訊聯(lián)網(wǎng)； 7． 電           源：220 V；50 Hz。

本項(xiàng)成果以以急傾斜特厚煤層深部煤巖動(dòng)力失穩(wěn)防治為目標(biāo)，系統(tǒng)研究工程尺度采動(dòng)卸壓條件下煤巖體的破壞機(jī)理，揭示急傾斜特厚煤層深部綜放開采期間煤巖動(dòng)力失穩(wěn)致災(zāi)規(guī)律，建立了動(dòng)壓預(yù)報(bào)技術(shù)，制訂適合急傾斜煤層深部動(dòng)壓危險(xiǎn)預(yù)警與管理制度，實(shí)現(xiàn)安全開采。項(xiàng)目通過中國(guó)煤炭工業(yè)協(xié)會(huì)鑒定達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。