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本發(fā)明公開了一種超精密工作臺(tái)，它包括宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與微位移工作臺(tái)，其中宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的導(dǎo)軌形式采用氣浮導(dǎo)軌，微位移工作臺(tái)與宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)連接，并隨宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)一起沿 X 向、Y 向移動(dòng)。微位移工作臺(tái)中包含壓電智能結(jié)構(gòu)，其中該壓電智能結(jié)構(gòu)既能感知外界對(duì)其施加的力、位移等信號(hào)，又能主動(dòng)地對(duì)外界施加力、位移等。此外，壓電智能結(jié)構(gòu)不僅可以用于超精密工作臺(tái)的微位移工作臺(tái)中，而且也可以制成類似彈簧-阻尼系統(tǒng)的俘能機(jī)構(gòu)，應(yīng)用在超精密工作臺(tái)中。本發(fā)明可以廣泛應(yīng)用于超精密機(jī)床、超精密測(cè)量、微電子制造等領(lǐng)域。

研發(fā)階段/n1、在該方向發(fā)表論文10余篇，Nature子刊，Science子刊各一篇。。2、申報(bào)和獲得該方向相關(guān)發(fā)明專利8項(xiàng)。其中1項(xiàng)授權(quán)轉(zhuǎn)讓給Facebook，Sony和中國一家企業(yè)。在華中科技大學(xué)申報(bào)5項(xiàng)發(fā)明專利，依托武漢舒博光電技術(shù)有限公司申報(bào)2項(xiàng)發(fā)明專利。。3、研發(fā)出2代超分辨納米光刻樣機(jī)。。4、配備光學(xué)裝備開發(fā)專門團(tuán)隊(duì)，初步建成光學(xué)精密制造和檢測(cè)平臺(tái)。

提出并制備了非線性光學(xué)準(zhǔn)晶超構(gòu)表面，并研究了超構(gòu)單元局域?qū)ΨQ性和排布方式的全局對(duì)稱性對(duì)超構(gòu)表面遠(yuǎn)場(chǎng)非線性光輻射的共同影響。該非線性光學(xué)準(zhǔn)晶超構(gòu)表面運(yùn)用了基于非線性光學(xué)貝里幾何相位的金屬等離激元結(jié)構(gòu)單元，依據(jù)經(jīng)典的彭羅斯準(zhǔn)周期拼接和具有六重對(duì)稱性的六角準(zhǔn)周期拼接形成了不同種類的準(zhǔn)晶結(jié)構(gòu)。彭羅斯結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)周期拼接具有五重對(duì)稱性，其衍射圖案則具有十重對(duì)稱性，這些都是晶體衍射定理所不允許的對(duì)稱性。而六角準(zhǔn)周期拼接是2017年提出的一種準(zhǔn)周期拼接，它具有晶體衍射定理所允許的六重對(duì)稱性，卻并不遵從短程有序的規(guī)律。這兩種拼接方式可以與某些特定的比例聯(lián)系起來，這些比例由不同階次的迭代規(guī)則決定：彭羅斯結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)一階迭代過程，其比例是人們熟知的“黃金分割比”，而六角準(zhǔn)周期晶格對(duì)應(yīng)三階過程，其比例可稱為“黃銅分割比”。自六角準(zhǔn)周期晶格從理論上提出以來，本項(xiàng)工作中的非線性光學(xué)準(zhǔn)晶超構(gòu)表面是首個(gè)利用黃銅分割比實(shí)驗(yàn)實(shí)現(xiàn)的人工光學(xué)結(jié)構(gòu)。? 非線性光學(xué)準(zhǔn)晶超構(gòu)表面中不同轉(zhuǎn)向的超構(gòu)單元對(duì)入射基頻光的響應(yīng)是均勻的，因此其線性光學(xué)衍射僅能反映超構(gòu)表面的全局對(duì)稱性，即晶格結(jié)構(gòu)決定其遠(yuǎn)場(chǎng)光衍射。而在倍頻實(shí)驗(yàn)中，即出射光的頻率是入射光的兩倍（如1200nm 變?yōu)?00nm）。由于打破了超構(gòu)單元的中心反演對(duì)稱性并引入了非線性光學(xué)幾何相位，其非線性光學(xué)衍射與晶格結(jié)構(gòu)的局域?qū)ΨQ性、全局對(duì)稱性同時(shí)相關(guān)。因此，可以通過調(diào)控超構(gòu)單元的指向分布，進(jìn)而有效地調(diào)控倍頻光衍射中的零級(jí)。非線性光學(xué)準(zhǔn)晶超構(gòu)表面這一概念或?qū)樵O(shè)計(jì)超構(gòu)表面非線性光源、人工微納光學(xué)結(jié)構(gòu)材料提供新的思路。

成果創(chuàng)新點(diǎn) 1.溫飄、分辨率、穩(wěn)定性等指標(biāo)具有國際領(lǐng)先水平； 2.溫度自補(bǔ)償技術(shù)、信號(hào)源漂移自矯正技術(shù)、噪聲抑 制技術(shù)等是主要?jiǎng)?chuàng)新點(diǎn)。 技術(shù)成熟度 小試中試階段 市場(chǎng)前景 可用在大型天文望遠(yuǎn)鏡中作為邊緣傳感器；可以用在 精密車床、電子顯微鏡、原子力顯微鏡、共焦顯微鏡等中。 轉(zhuǎn)化計(jì)劃 預(yù)期轉(zhuǎn)化方式：自主轉(zhuǎn)化尋求投資，已于天使基金接 觸。

 1.溫飄、分辨率、穩(wěn)定性等指標(biāo)具有國際領(lǐng)先水平； 2.溫度自補(bǔ)償技術(shù)、信號(hào)源漂移自矯正技術(shù)、噪聲抑制技術(shù)等是主要?jiǎng)?chuàng)新點(diǎn)。 

本項(xiàng)目開發(fā)的超細(xì)晶高強(qiáng)多孔鐵合金具有精細(xì)細(xì)小（均小于5微米），強(qiáng)度高、韌性好、質(zhì)輕等特點(diǎn)。根據(jù)不同需要可制備出孔隙率從10-50%的多孔結(jié)構(gòu)，孔徑在1微米左右。當(dāng)孔隙率為20%時(shí)，最高抗壓強(qiáng)度超過了1000MPa。當(dāng)孔隙率達(dá)到50%左右時(shí)，抗壓強(qiáng)度超過了400MPa，壓縮率超過50%而不斷裂。該合金具有非常好的軟磁性能，可用于輕質(zhì)鐵磁性材料的制備。

近年來，聲學(xué)超材料技術(shù)發(fā)展迅速，聲學(xué)超材料是指具有負(fù)等效質(zhì)量密度或負(fù)等效模量的人工亞波長結(jié)構(gòu)，由于其具有良好的低頻彈性波帶隙及導(dǎo)波特性，在低頻減振降噪方面具有廣泛的應(yīng)用前景。目前車用聲學(xué)超材料產(chǎn)品尚未在市場(chǎng)上出現(xiàn)，但本團(tuán)隊(duì)已掌握其理論設(shè)計(jì)方法及應(yīng)用技術(shù)，已申報(bào)相關(guān)工程應(yīng)用專利4項(xiàng)，另有6項(xiàng)相正在申報(bào)中。車用聲學(xué)超材料產(chǎn)品可實(shí)現(xiàn)汽車低頻振動(dòng)及噪聲的有效控制，為解決困擾工程界已久的低頻問題提供新的途徑。

東南大學(xué)崔鐵軍院士研究團(tuán)隊(duì)和新加坡國立大學(xué)仇成偉教授合作，提出、設(shè)計(jì)并實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了一種具有強(qiáng)重構(gòu)能力、雙通道獨(dú)立可編程超表面。該雙可編程超表面具有獨(dú)立控制接口，能夠?qū)崟r(shí)對(duì)x極化和y極化電磁波進(jìn)行獨(dú)立編程調(diào)控，從而可實(shí)現(xiàn)多個(gè)復(fù)雜和新奇的電磁功能。相比于以往的單極化可編程超表面，該雙可編程超表面能并行提供兩個(gè)相互獨(dú)立的信息傳輸通道，進(jìn)而大大提升可編程超表面的信息處理能力。 高維軌道角動(dòng)量糾纏分發(fā)實(shí)驗(yàn)裝置圖 相關(guān)研究成果以“Polarization-controlled dual-programmable metasurfaces”為題發(fā)表在綜合學(xué)術(shù)期刊《Advanced Science》上。論文通訊作者為東南大學(xué)蔣衛(wèi)祥教授、崔鐵軍教授和新加坡國立大學(xué)仇成偉教授，第一作者為東南大學(xué)博士生張信歌。

利用粉煤灰、煤矸石、水泥基材料、保溫骨料、合適的有機(jī)成分制備的一系列新型建筑保溫材料。隨著礦井開采深度的增加，地下圍巖的溫度升高，由于圍巖向井內(nèi)散熱增加，加上地下熱水的滲漏，巷道內(nèi)的氣溫常年在35℃以上。為減少地下圍巖向井內(nèi)的傳熱，降低散熱成本，在礦井內(nèi)部引入該產(chǎn)品能起到支護(hù)與隔熱作用。主要的設(shè)計(jì)施工思路：三層式結(jié)構(gòu)即混凝土內(nèi)襯+保溫砂漿層+表面噴涂層。