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精確控制浸沒式光刻機浸液溫度的裝置及其溫控方法
本發(fā)明公開了一種精確控制浸沒式光刻機浸液溫度的裝置，包括增壓泵；初級熱交換器，其浸液入口與增壓泵出口連通，浸液在其中進行熱交換，實現(xiàn)浸液溫度的初級調(diào)控；次級熱交換器，其浸液入口與初級熱交換器浸液出口連通，浸液在其中進行再次熱交換，實現(xiàn)浸液溫度的次級調(diào)控；流量伺服閥，其入口與初級熱交換器浸液出口連通，與次級熱交換器形成并聯(lián)，用于調(diào)節(jié)進入次級熱交換器的浸液流量。通過協(xié)調(diào)控制進入初級熱交換器和次級熱交換器的冷媒流量，并結(jié)合流量伺服閥對進入次級熱交換器的浸液流量的調(diào)節(jié)，可實現(xiàn)對浸液溫度的兩級調(diào)控，從而獲得溫
華中科技大學(xué)
2021-04-14
液壓絞車柔性牽引的水下運動體的速度控制方法及系統(tǒng)
本發(fā)明公開了一種基于液壓絞車牽引的水下運動體的速度控制方法，包括：(1)確定主閥閥芯開度的設(shè)定值；(2)速度控制器獲取當(dāng)前的閥芯開度反饋值，并計算閥芯開度比；(3)若閥芯開度比不大于閾值，則以單調(diào)過阻尼的方式逐漸增大閥芯開度給定值值至閥芯開度設(shè)定值，若閥芯開度比大于閾值，則根據(jù)速度設(shè)定值與反饋速度值的差值以及閥芯開度反饋值,實時給定閥芯開度給定值；(4)液壓絞車根據(jù)主閥閥芯的開度牽引柔性水下運動體以對應(yīng)速度運動；(5)循環(huán)執(zhí)行步驟(2)-(4)，直至小車速度達到設(shè)定值。本發(fā)明還公開了對應(yīng)的控制系統(tǒng)。
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種適用于芯片轉(zhuǎn)移的倒裝鍵合控制方法
本發(fā)明屬于芯片貼裝工藝相關(guān)領(lǐng)域，并公開了一種適用于芯片 轉(zhuǎn)移的倒裝鍵合控制方法，主要包括：基于大轉(zhuǎn)盤仰視相機和晶元盤 斜視相機的觀測和配合，對芯片從晶元盤至大轉(zhuǎn)盤單元的吸附轉(zhuǎn)移執(zhí) 行角度及位置控制；基于大轉(zhuǎn)盤俯視相機和小轉(zhuǎn)盤側(cè)視相機的觀測和 配合，對芯片從大轉(zhuǎn)盤單元至小轉(zhuǎn)盤單元的拾取轉(zhuǎn)移執(zhí)行角度及位置·108·控制；以及基于小轉(zhuǎn)盤仰視相機和小轉(zhuǎn)盤俯視相機的觀測和配合，對 芯片至基板的貼合過程執(zhí)行相應(yīng)控制。通過本發(fā)明，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)芯 片高效倒裝鍵合整個過程中芯片在位置及角度
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種行星輪式越障機器人爬樓梯控制方法
本發(fā)明公開了一種行星輪式越障機器人爬樓梯控制方法，包括 如下步驟:1)保持越障機器人勻速直線前進，測量其同一驅(qū)動組中兩 行星輪組與前方臺階的距離及行星輪組的轉(zhuǎn)速，并計算偏轉(zhuǎn)角;2)計算各行星輪組的理論轉(zhuǎn)速，并使行星輪組以計算得出的轉(zhuǎn)速進行運動; 3)檢測當(dāng)前的 L1 和 L2，并計算當(dāng)前的偏轉(zhuǎn)角θ;4)判斷當(dāng)前偏轉(zhuǎn)角θ 是否超過預(yù)設(shè)值:若是，則轉(zhuǎn)入步驟 2)，若否，則控制機器人繼續(xù)等 速直線前進;5)判斷兩行星輪組是否到達階梯:若否，則繼續(xù)等速直 線
華中科技大學(xué)
2021-04-14
六軸驅(qū)控一體工業(yè)機器人控制系統(tǒng)
本成果六軸驅(qū)控一體系統(tǒng)內(nèi)部集成了基于相鄰交叉耦合的六軸同步控制算法。在驅(qū)動模塊內(nèi)部會對每軸反饋信號進行同步控制策略處理，并引入一種基于電流動態(tài)調(diào)整的補償系數(shù)，解決傳統(tǒng)相鄰交叉耦合結(jié)構(gòu)補償響應(yīng)慢、同步精度不高的缺點，同步誤差補償周期短，具有更快的同步控制響應(yīng)和更高的靈活性。
一、項目分類
關(guān)鍵核心技術(shù)突破
二、成果簡介
傳統(tǒng)的工業(yè)機器人控制和驅(qū)動分離，即采用一個獨立運動控制器控制多個獨立伺服驅(qū)動器的形式，存在集成度低、體積大、成本高等問題。本成果開發(fā)的六軸驅(qū)控一體工業(yè)機器人控制系統(tǒng)由工業(yè)機器人控制軟件和伺服驅(qū)動系統(tǒng)組成，主要特點有：
（1）基于多核的SoC芯片，通過片內(nèi)總線實現(xiàn)控制系統(tǒng)和驅(qū)動系統(tǒng)的高速互聯(lián)通信，保證信息傳輸?shù)母咝院头€(wěn)定性。機器人控制算法和六軸驅(qū)動系統(tǒng)共用一個芯片中不同的內(nèi)核完成，實現(xiàn)高度集成。
（2）針對傳統(tǒng)機器人六軸無法高精度同步問題，本成果六軸驅(qū)控一體系統(tǒng)內(nèi)部集成了基于相鄰交叉耦合的六軸同步控制算法。在驅(qū)動模塊內(nèi)部會對每軸反饋信號進行同步控制策略處理，并引入一種基于電流動態(tài)調(diào)整的補償系數(shù)，解決傳統(tǒng)相鄰交叉耦合結(jié)構(gòu)補償響應(yīng)慢、同步精度不高的缺點，同步誤差補償周期短，具有更快的同步控制響應(yīng)和更高的靈活性。
華中科技大學(xué)
2022-07-27
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江蘇地區(qū)煙粉虱的暴發(fā)成災(zāi)機制及可持續(xù)控制技術(shù)
該成果從煙粉虱的越冬、田間擴散、暴發(fā)機制、田間種群動態(tài)等方面研究江蘇地區(qū)煙粉虱種群的形成規(guī)律及成災(zāi)機制，提出了煙粉虱的控制策略、用藥原則和控制技術(shù)。研究成果在江蘇推廣應(yīng)用，可使化學(xué)農(nóng)藥用量減少 10~15%，取得了顯著的經(jīng)濟效益和社會效益， 2012 年獲全國商業(yè)科技進步獎二等獎。
揚州大學(xué)
2021-04-14
基于電控液晶紅外發(fā)散平面微柱鏡的紅外波束控制芯片
本發(fā)明公開了一種基于電控液晶紅外發(fā)散平面微柱鏡的紅外波束控制芯片。其包括電控液晶紅外發(fā)散平面微柱鏡陣列；電控液晶紅外發(fā)散平面微柱鏡陣列包括液晶材料層，依次設(shè)置在液晶材料層上表面的第一液晶初始取向?qū)印⒌谝浑姼綦x層、圖形化電極層、第一基片和第一紅外增透膜，以及依次設(shè)置在液晶材料層下表面的第二液晶初始取向?qū)印⒌诙姼綦x層、公共電極層、第二基片和第二紅外增透膜；公共電極層由一層勻質(zhì)導(dǎo)電膜構(gòu)成；圖形化電極層由其上布有 m×n
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種電機控制系統(tǒng)中的 IPM 驅(qū)動和保護方法
本發(fā)明提供一種采用現(xiàn)場可編程門陣列(FPGA)的電機控制系統(tǒng)中智能功率模塊(IPM)的驅(qū)動及保護方法。該方法利用 FPGA 給 IPM 發(fā)送驅(qū)動信號，同時利用 FPGA 接收及處理 IPM 的出錯信號，當(dāng) IPM 出錯或出現(xiàn)其他異常時 FPGA 可以關(guān)斷 IPM 驅(qū)動信號的發(fā)送，實現(xiàn)對IPM 的保護。在驅(qū)動信號發(fā)送中，通過差分驅(qū)動器、濾波電路、差分接收器、高速光耦對 IPM 的驅(qū)動信號進行差分處理、光電隔離，可以提高IPM 驅(qū)動信號傳輸?shù)目垢蓴_能力。在出錯信號的接收及處理中，采用了濾波電路、高速光耦
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種用于柔性膜轉(zhuǎn)移的機械手控制系統(tǒng)
本發(fā)明屬于柔性電子生產(chǎn)相關(guān)設(shè)備領(lǐng)域，并公開了一種用于柔 性膜轉(zhuǎn)移的機械手控制系統(tǒng)，包括多自由度機械手、多傳感器反饋單 元和控制單元，其中多自由度機械手用于對柔性膜執(zhí)行轉(zhuǎn)移操作；多 傳感器反饋單元包括 CCD 傳感器、激光位移傳感器、重力傳感器組、 真空傳感器、壓力傳感器等，并用于對機械手包括位置、姿態(tài)、真空度和接觸力在內(nèi)的多項狀態(tài)指標執(zhí)行檢測；控制單元則基于多傳感器 反饋單元的信息，對機械手整個轉(zhuǎn)移過程的操作執(zhí)行精確控制，同時 還可對拾取頭工作段的吸附面積大小進行靈活調(diào)節(jié)。通過本發(fā)明，可 根據(jù)柔性膜
華中科技大學(xué)
2021-04-14
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軍用高效能高精度全數(shù)字化伺服控制系統(tǒng)
? 成果簡介：本成果由全數(shù)字化雙軸伺服驅(qū)動器和高性能永磁同步電機組成。單軸額定功率為750W，額定轉(zhuǎn)矩為2.5NM，額定轉(zhuǎn)速3600RPM，工作溫度為-40℃～60℃，滿足國軍標相應(yīng)環(huán)境適應(yīng)性與電磁兼容性要求。? 項目來源：自行開發(fā)? 技術(shù)領(lǐng)域：光機電一體化? 應(yīng)用范圍：運動控制? 現(xiàn)狀特點：ü 伺服
北京理工大學(xué)
2021-04-14