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上海上益教育設(shè)備制造有限公司成立于2011年，公司部坐落于上海市松江區(qū)葉榭鎮(zhèn)葉榮路28號(hào)，距上海虹橋國際機(jī)場10公里，距上海汽車站18公里，地理位置優(yōu)越。公司成立之初即得到上海交通大學(xué)多位教師、教授的技術(shù)支持，相繼開發(fā)出電工、電子、電拖實(shí)驗(yàn)設(shè)備，多媒體語言學(xué)系統(tǒng)，家用電器實(shí)驗(yàn)室設(shè)備等，產(chǎn)品一經(jīng)推出即受到包括港澳地區(qū)廣大校的歡迎，為廣大用戶提供經(jīng)濟(jì)實(shí)用產(chǎn)品，同時(shí)公司也得到了飛速發(fā)展。公司于2012年通過了國際質(zhì)量管理體系，在2012年分別被上海教學(xué)儀器行業(yè)協(xié)會(huì)和中國教學(xué)儀器設(shè)備行業(yè)協(xié)會(huì)吸收為會(huì)員單位。公司產(chǎn)品多次被中國技術(shù)情報(bào)協(xié)會(huì)抽檢被評(píng)為中國質(zhì)量過硬、服務(wù)放心信譽(yù)。公司現(xiàn)擁有一只經(jīng)驗(yàn)豐富，技術(shù)開發(fā)能力強(qiáng)，整體素質(zhì)高，具有敏銳市場需求洞察力的研發(fā)生產(chǎn)隊(duì)伍。公司現(xiàn)有員工186人，其中高級(jí)技術(shù)人員占30%。

工業(yè)機(jī)器人智能制造生產(chǎn)線 工業(yè)機(jī)器人智能制造生產(chǎn)線是以小型的柔性制造系統(tǒng)為載體，主要特點(diǎn)是占地空間小、操作安全、師生容易上手； 工業(yè)機(jī)器人智能制造生產(chǎn)線 可作為大專院校、中高職學(xué)生自動(dòng)化專業(yè)、機(jī)電一體化專業(yè)、機(jī)器人專業(yè)、企業(yè)工程師進(jìn)行機(jī)器人、數(shù)控加工、 材料出入倉庫進(jìn)一體化組建工業(yè)4.0智能無人工廠培訓(xùn)，提高階段綜合性學(xué)習(xí)與訓(xùn)練。 采用了模塊化的設(shè)計(jì)，學(xué)生可以發(fā)揮自己的創(chuàng)新思維，對(duì)原有的生產(chǎn)流程進(jìn)行創(chuàng)新改造。在掌握基礎(chǔ)知識(shí)的前提下，進(jìn)一步提高學(xué)生的積極性、動(dòng)手能力和創(chuàng)新思維。 工業(yè)機(jī)器人智能制造生產(chǎn)線，是對(duì)工業(yè)現(xiàn)場大型設(shè)備進(jìn)行提煉和濃縮的一款小型智能制造生產(chǎn)線實(shí)訓(xùn)設(shè)備，專門為職業(yè)院校、教育培訓(xùn)機(jī)構(gòu)等而研制的，它適合機(jī)械制造及其自動(dòng)化、機(jī)電一體化、電氣工程及自動(dòng)化、控制工程、測控技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制、自動(dòng)化控制等相關(guān)專業(yè)的教學(xué)和培訓(xùn)。融合了數(shù)控機(jī)床加工、光、電、氣，包含了PLC、機(jī)器人、傳感器、氣動(dòng)、工業(yè)控制網(wǎng)絡(luò)、電機(jī)驅(qū)動(dòng)與控制、計(jì)算機(jī)等諸多技術(shù)領(lǐng)域，對(duì)柔性制 造技術(shù)的工作過程進(jìn)行研究，監(jiān)控系統(tǒng)、主控PLC和下位PLC通過網(wǎng)絡(luò)通訊技術(shù)構(gòu)成一個(gè)完整的多級(jí)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，通過訓(xùn)練，使學(xué)生了解智能制造生產(chǎn)線的基本組成和基本原理，讓學(xué)生全面掌握機(jī)電一體化技術(shù)的應(yīng)用開發(fā)和集成技術(shù)，幫助學(xué)生從系統(tǒng)整體角度去認(rèn)識(shí)。為信息學(xué)院自動(dòng)化和電氣工程自動(dòng)化本科及其控制科學(xué)與工程研究生均提供了實(shí)驗(yàn)和科研的平臺(tái)。 工業(yè)機(jī)器人智能制造生產(chǎn)線組成簡介 1、立體倉庫單元    立體倉庫單元的主要功能是為系統(tǒng)提供加工工件原材料和儲(chǔ)存成品件兩大倉儲(chǔ)功能，采用三層貨架儲(chǔ)存單元貨物，用相應(yīng)的物料搬運(yùn)設(shè)備進(jìn)行貨物入庫和出庫作業(yè)的倉庫。 2、環(huán)型流水線單元    環(huán)型流水線單元主要由鋁合金型材基體、環(huán)行傳輸線、自動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、變頻調(diào)速系統(tǒng)、自動(dòng)定位機(jī)構(gòu)等組成。可完成對(duì)工件在不同速度下的輸送，不同工位的自動(dòng)定位，從而大大提高了自動(dòng)環(huán)形傳輸線的工作效率。3、數(shù)控車床加工中心單元    數(shù)控車床加工中心單元采用小型化，占地小，用于整個(gè)工件的軸類部份的加工，采用自動(dòng)門、自動(dòng)裝夾、四工位自動(dòng)刀架、并有工件冷卻加工系統(tǒng)，現(xiàn)實(shí)機(jī)加工件無人化DNC自動(dòng)加工，配置伺服電機(jī)、工業(yè)級(jí)數(shù)控系統(tǒng)，精度高。 4、立式數(shù)控銑床加工單元    立式數(shù)控銑床加工單元采用小型化，占地小，用于整個(gè)工件三軸聯(lián)動(dòng)。可用于雕刻、數(shù)控鉆、數(shù)控銑等加工工藝，采用自動(dòng)門、自動(dòng)裝夾等，現(xiàn)實(shí)機(jī)加工件無人化DNC自動(dòng)加工，工業(yè)級(jí)數(shù)控系統(tǒng)，精度高。 5、六自由度機(jī)器人單元    六自由度工業(yè)機(jī)器人、抓取機(jī)構(gòu)、氣爪等組成，主要完成對(duì)工件的提取及搬運(yùn)到各數(shù)控加工單元、AGV小車搬運(yùn)單元及工件視覺檢測單元等。包含旋轉(zhuǎn)（S軸），下臂（L軸）、上臂（U軸）、手腕旋轉(zhuǎn)（R軸）、手腕擺動(dòng)（B軸）和手腕回轉(zhuǎn)（T軸）,6個(gè)關(guān)節(jié)合成實(shí)現(xiàn)末端的6自由度動(dòng)作。 6、四軸坐標(biāo)機(jī)器人    四軸坐標(biāo)機(jī)器人主要負(fù)責(zé)立體倉庫的原材料入庫與出庫、成品零件的入庫。夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)控制的、可重復(fù)編程的、多功能的、多自由度的、運(yùn)動(dòng)自由度間成空間直角關(guān)系、多用途的操作機(jī)。他能夠搬運(yùn)物體、操作工具，以完成各種作業(yè)，具有高速性的最大化吞吐量,超長的工作運(yùn)行時(shí)間,節(jié)省地面空間。 7、視覺檢測單元單元    檢測單元的主要功能是對(duì)工件的精度、外觀形狀品質(zhì)是否合格，通過攝像頭獲取工件的圖像，由圖像處理器完成工件合格與否的判斷，將不合格工件剔除，將合格的工件傳送至下一單元，而將不合格的工件推送至廢料槽。 8、RFID系統(tǒng)單元    RFID系統(tǒng)單元是一種非接觸式的自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng)，它通過射頻無線信號(hào)自動(dòng)識(shí)別目標(biāo)對(duì)象，用于對(duì)工件材料的信息記錄，加工路徑記錄、產(chǎn)品追溯化管理，由RFID標(biāo)簽和RFID讀寫器組成，標(biāo)簽安裝在工件放置的工裝板上-記錄該工裝板上放置零件信息，RFID讀寫器安裝在工裝板經(jīng)過的每一個(gè)工位上，當(dāng)工件到達(dá)該工位時(shí)系統(tǒng)可通過讀寫器，識(shí)別到該工件的運(yùn)輸及加工途徑。每個(gè)傳輸工裝板上都安裝有RFID標(biāo)簽，在每個(gè)加工工位物料都需要進(jìn)行識(shí)讀操作，并將信息通過網(wǎng)絡(luò)傳輸給服務(wù)器，實(shí)時(shí)的跟蹤物料位置信息和倉儲(chǔ)位置信息，做到物料、成品、半成品的可追溯性管理。 9、AGV小車搬運(yùn)單元    AGV小車無人搬運(yùn)車由機(jī)器人輸送加工后的零件或從庫房特定庫架抓取零件，AGV智能小車并依據(jù)方位計(jì)劃運(yùn)動(dòng)途徑，運(yùn)行至裝卸站,準(zhǔn)停，主動(dòng)將零件放置到裝卸站緩沖區(qū)，由四軸坐標(biāo)機(jī)器人卸貨至立體倉庫成品區(qū)或原材料區(qū)。實(shí)現(xiàn)線邊設(shè)備和自動(dòng)倉儲(chǔ)的自動(dòng)上下料功能，采用激光通訊傳感器通訊，信號(hào)傳輸快捷方便；行走模組采用PLC控制，AGV的PLC通訊，PLC發(fā)送任務(wù)碼給機(jī)器人，實(shí)現(xiàn)點(diǎn)位控制；主控通訊，AGV整體與主控PLC通訊。 10、PLC工作站單元    采用工業(yè)自動(dòng)化主流PLC，可隨意擴(kuò)展，配備觸摸屏、具備物聯(lián)網(wǎng)接口，鋁合金型材構(gòu)成，連接牢固。 11、總控臺(tái)     總控平臺(tái)主要由單相電網(wǎng)電壓指示、電源控制部分、控制主機(jī)、狀態(tài)指示燈、10.4英寸工業(yè)彩色觸摸屏S7-315主機(jī)，電腦等組成，主要完成監(jiān)視各分站的工作狀態(tài)并協(xié)調(diào)各站運(yùn)行，完成工業(yè)控制網(wǎng)絡(luò)的集成。它帶有電源總控制系統(tǒng)、視頻監(jiān)控系統(tǒng)，產(chǎn)線處的有數(shù)據(jù)均可從總控制臺(tái)收集獲取，可通過總控調(diào)度分配各個(gè)模塊的工作職能。電源系統(tǒng)實(shí)施強(qiáng)弱電分開管理，待機(jī)休息及檢修時(shí)要求強(qiáng)電關(guān)閉，控制、信號(hào)燈弱點(diǎn)部分完全獨(dú)立運(yùn)行。 12、零部件周轉(zhuǎn)拖盤     用于原材料及成品件的輸送周轉(zhuǎn)用，配合RFID系統(tǒng)及智能倉庫、環(huán)型流水線中應(yīng)用。實(shí)現(xiàn)送料，取料，輸送周轉(zhuǎn)功能；實(shí)現(xiàn)智能化工作與管理，并對(duì)每個(gè)環(huán)節(jié)的時(shí)間點(diǎn)、責(zé)任人等關(guān)鍵數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集，匯集到統(tǒng)一的信息平臺(tái)，最大限度的提高存儲(chǔ)貨物的能力。

     微型智能制造生產(chǎn)線教學(xué)設(shè)備平臺(tái)采用了模塊化的設(shè)計(jì)，學(xué)生可以發(fā)揮自己的創(chuàng)新思維，對(duì)原有的生產(chǎn)流程進(jìn)行創(chuàng)新改造。在掌握基礎(chǔ)知識(shí)的前提下，進(jìn)一步提高學(xué)生的積極性、動(dòng)手能力和創(chuàng)新思維。 智能制造生產(chǎn)線實(shí)訓(xùn)方案特點(diǎn) 智能制造生產(chǎn)線實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，是對(duì)工業(yè)現(xiàn)場大型設(shè)備進(jìn)行提煉和濃縮的一款小型智能制造生產(chǎn)線實(shí)訓(xùn)設(shè)備，專門為職業(yè)院校、教育培訓(xùn)機(jī)構(gòu)等而研制的，它適合機(jī)械制造及其自動(dòng)化、機(jī)電一體化、電氣工程及自動(dòng)化、控制工程、測控技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制、自動(dòng)化控制等相關(guān)專業(yè)的教學(xué)和培訓(xùn)。融合了數(shù)控機(jī)床加工、光、電、氣，包含了PLC、機(jī)器人、傳感器、氣動(dòng)、工業(yè)控制網(wǎng)絡(luò)、電機(jī)驅(qū)動(dòng)與控制、計(jì)算機(jī)等諸多技術(shù)領(lǐng)域，對(duì)柔性制 造技術(shù)的工作過程進(jìn)行研究，監(jiān)控系統(tǒng)、主控PLC和下位PLC通過網(wǎng)絡(luò)通訊技術(shù)構(gòu)成一個(gè)完整的多級(jí)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，通過訓(xùn)練，使學(xué)生了解智能制造生產(chǎn)線的基本組成和基本原理，讓學(xué)生全面掌握機(jī)電一體化技術(shù)的應(yīng)用開發(fā)和集成技術(shù)，幫助學(xué)生從系統(tǒng)整體角度去認(rèn)識(shí)。為信息學(xué)院自動(dòng)化和電氣工程自動(dòng)化本科及其控制科學(xué)與工程研究生均提供了實(shí)驗(yàn)和科研的平臺(tái)。 系統(tǒng)組成簡介 1、立體倉庫單元    立體倉庫單元的主要功能是為系統(tǒng)提供加工工件原材料和儲(chǔ)存成品件兩大倉儲(chǔ)功能，采用三層貨架儲(chǔ)存單元貨物，用相應(yīng)的物料搬運(yùn)設(shè)備進(jìn)行貨物入庫和出庫作業(yè)的倉庫。 2、環(huán)型流水線單元    環(huán)型流水線單元主要由鋁合金型材基體、環(huán)行傳輸線、自動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、變頻調(diào)速系統(tǒng)、自動(dòng)定位機(jī)構(gòu)等組成。可完成對(duì)工件在不同速度下的輸送，不同工位的自動(dòng)定位，從而大大提高了自動(dòng)環(huán)形傳輸線的工作效率。3、數(shù)控車床加工中心單元    數(shù)控車床加工中心單元采用小型化，占地小，用于整個(gè)工件的軸類部份的加工，采用自動(dòng)門、自動(dòng)裝夾、四工位自動(dòng)刀架、并有工件冷卻加工系統(tǒng)，現(xiàn)實(shí)機(jī)加工件無人化DNC自動(dòng)加工，配置伺服電機(jī)、工業(yè)級(jí)數(shù)控系統(tǒng)，精度高。 4、立式數(shù)控銑床加工單元    立式數(shù)控銑床加工單元采用小型化，占地小，用于整個(gè)工件三軸聯(lián)動(dòng)。可用于雕刻、數(shù)控鉆、數(shù)控銑等加工工藝，采用自動(dòng)門、自動(dòng)裝夾等，現(xiàn)實(shí)機(jī)加工件無人化DNC自動(dòng)加工，工業(yè)級(jí)數(shù)控系統(tǒng)，精度高。 5、六自由度機(jī)器人單元    六自由度工業(yè)機(jī)器人、抓取機(jī)構(gòu)、氣爪等組成，主要完成對(duì)工件的提取及搬運(yùn)到各數(shù)控加工單元、AGV小車搬運(yùn)單元及工件視覺檢測單元等。包含旋轉(zhuǎn)（S軸），下臂（L軸）、上臂（U軸）、手腕旋轉(zhuǎn)（R軸）、手腕擺動(dòng)（B軸）和手腕回轉(zhuǎn)（T軸）,6個(gè)關(guān)節(jié)合成實(shí)現(xiàn)末端的6自由度動(dòng)作。 6、四軸坐標(biāo)機(jī)器人    四軸坐標(biāo)機(jī)器人主要負(fù)責(zé)立體倉庫的原材料入庫與出庫、成品零件的入庫。夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)控制的、可重復(fù)編程的、多功能的、多自由度的、運(yùn)動(dòng)自由度間成空間直角關(guān)系、多用途的操作機(jī)。他能夠搬運(yùn)物體、操作工具，以完成各種作業(yè)，具有高速性的最大化吞吐量,超長的工作運(yùn)行時(shí)間,節(jié)省地面空間。 7、視覺檢測單元單元    檢測單元的主要功能是對(duì)工件的精度、外觀形狀品質(zhì)是否合格，通過攝像頭獲取工件的圖像，由圖像處理器完成工件合格與否的判斷，將不合格工件剔除，將合格的工件傳送至下一單元，而將不合格的工件推送至廢料槽。 8、RFID系統(tǒng)單元    RFID系統(tǒng)單元是一種非接觸式的自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng)，它通過射頻無線信號(hào)自動(dòng)識(shí)別目標(biāo)對(duì)象，用于對(duì)工件材料的信息記錄，加工路徑記錄、產(chǎn)品追溯化管理，由RFID標(biāo)簽和RFID讀寫器組成，標(biāo)簽安裝在工件放置的工裝板上-記錄該工裝板上放置零件信息，RFID讀寫器安裝在工裝板經(jīng)過的每一個(gè)工位上，當(dāng)工件到達(dá)該工位時(shí)系統(tǒng)可通過讀寫器，識(shí)別到該工件的運(yùn)輸及加工途徑。每個(gè)傳輸工裝板上都安裝有RFID標(biāo)簽，在每個(gè)加工工位物料都需要進(jìn)行識(shí)讀操作，并將信息通過網(wǎng)絡(luò)傳輸給服務(wù)器，實(shí)時(shí)的跟蹤物料位置信息和倉儲(chǔ)位置信息，做到物料、成品、半成品的可追溯性管理。 9、AGV小車搬運(yùn)單元    AGV小車無人搬運(yùn)車由機(jī)器人輸送加工后的零件或從庫房特定庫架抓取零件，AGV智能小車并依據(jù)方位計(jì)劃運(yùn)動(dòng)途徑，運(yùn)行至裝卸站,準(zhǔn)停，主動(dòng)將零件放置到裝卸站緩沖區(qū)，由四軸坐標(biāo)機(jī)器人卸貨至立體倉庫成品區(qū)或原材料區(qū)。實(shí)現(xiàn)線邊設(shè)備和自動(dòng)倉儲(chǔ)的自動(dòng)上下料功能，采用激光通訊傳感器通訊，信號(hào)傳輸快捷方便；行走模組采用PLC控制，AGV的PLC通訊，PLC發(fā)送任務(wù)碼給機(jī)器人，實(shí)現(xiàn)點(diǎn)位控制；主控通訊，AGV整體與主控PLC通訊。 10、PLC工作站單元    采用工業(yè)自動(dòng)化主流PLC，可隨意擴(kuò)展，配備觸摸屏、具備物聯(lián)網(wǎng)接口，鋁合金型材構(gòu)成，連接牢固。 11、總控臺(tái)     總控平臺(tái)主要由單相電網(wǎng)電壓指示、電源控制部分、控制主機(jī)、狀態(tài)指示燈、10.4英寸工業(yè)彩色觸摸屏S7-315主機(jī)，電腦等組成，主要完成監(jiān)視各分站的工作狀態(tài)并協(xié)調(diào)各站運(yùn)行，完成工業(yè)控制網(wǎng)絡(luò)的集成。它帶有電源總控制系統(tǒng)、視頻監(jiān)控系統(tǒng)，產(chǎn)線處的有數(shù)據(jù)均可從總控制臺(tái)收集獲取，可通過總控調(diào)度分配各個(gè)模塊的工作職能。電源系統(tǒng)實(shí)施強(qiáng)弱電分開管理，待機(jī)休息及檢修時(shí)要求強(qiáng)電關(guān)閉，控制、信號(hào)燈弱點(diǎn)部分完全獨(dú)立運(yùn)行。 12、零部件周轉(zhuǎn)拖盤     用于原材料及成品件的輸送周轉(zhuǎn)用，配合RFID系統(tǒng)及智能倉庫、環(huán)型流水線中應(yīng)用。實(shí)現(xiàn)送料，取料，輸送周轉(zhuǎn)功能；實(shí)現(xiàn)智能化工作與管理，并對(duì)每個(gè)環(huán)節(jié)的時(shí)間點(diǎn)、責(zé)任人等關(guān)鍵數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集，匯集到統(tǒng)一的信息平臺(tái)，最大限度的提高存儲(chǔ)貨物的能力。

本發(fā)明公開了一種高速銑削-激光切焊復(fù)合加工工藝及可重組多 軸數(shù)控加工系統(tǒng)。可用于金屬及非金屬材料加工，是將高速銑削、激 光切割、激光焊接以刀具更換的形式集成于數(shù)控機(jī)床上，期間無需更 換設(shè)備及工裝夾具，從而完成對(duì)材料的切割-銑削-焊接一體化的加工。 該系統(tǒng)包括控制平臺(tái)、數(shù)控系統(tǒng)、激光器、數(shù)控機(jī)床、工裝夾具、五 軸加工頭(銑頭、激光切割動(dòng)力頭和激光焊接動(dòng)力頭頭)。五軸加工頭可 以實(shí)現(xiàn)加工頭之間的快速切換，實(shí)現(xiàn)對(duì)工件的不同

產(chǎn)品詳細(xì)介紹上四下四回流焊,回流焊接機(jī)QS-F830   http://www.qinsidianzi.com/

微膠囊化松果仁粉及其制造方法,它屬于沖調(diào)型飲品及其制造方法.它包含按重量百分比的松果仁粉28～60%,輔料25～55%,乳化劑2～15%,包埋壁材4～17%的原料.制造方法是將松果仁放入溫水中磨漿,再用膠體磨精磨,向松果仁粉漿中按比例加入輔料和預(yù)膨潤好的乳化劑及包埋壁材,送入加熱缸中在沸騰下保溫,冷卻后在240～500Mpa下均質(zhì)兩次.泵入高位槽進(jìn)行噴霧干燥,晾粉.本發(fā)明的產(chǎn)品色澤潔白,保持了原料中的天然成份,不飽和脂肪酸含量不減少,長期服用對(duì)大腦有營養(yǎng)保健作用.尤其是它可長期保存(18～24個(gè)月)而不酸敗.其制造方法簡單,易于大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn).

本發(fā)明公開一種薄膜型LED器件及其制造方法，本發(fā)明器件包括：薄片型線路基板，免金線倒裝結(jié)構(gòu)LED芯 片以及一層透光保護(hù)膜。本器件LED芯片為倒裝結(jié)構(gòu)，芯片電極通過共晶焊接方式固定于薄片型基板，實(shí)現(xiàn)免金線鍵合的電氣互聯(lián)，一層透光保護(hù)膜覆蓋于芯片和 基板表面。本發(fā)明公開的LED器件電極位于器件底部，易于實(shí)現(xiàn)表面貼裝技術(shù)。本發(fā)明公開器件厚度在0.25-0.6mm之間，具有厚度薄，體積小，發(fā)光角 度大，光效高，可靠性高，制造工藝簡單，生產(chǎn)效率高，成本低等諸多優(yōu)點(diǎn)，適合大功率及普通功率LED封裝，可廣泛應(yīng)用于照明、顯示等領(lǐng)域。截至目前，已累計(jì)創(chuàng)造產(chǎn)值超過33.66億元，新增利潤2.60億元。2017年，以本專利技術(shù)為核心的科技成果“半導(dǎo)體發(fā)光器件跨尺度光功能結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與制造關(guān)鍵技術(shù)”獲得廣東省人民政府頒發(fā)的廣東省科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)，并且本專利獲得中國專利優(yōu)秀獎(jiǎng)。

隨著支配半導(dǎo)體技術(shù)數(shù)十年的摩爾定律日益接近其發(fā)展極限，多種功能器件集成被認(rèn)為是超越摩爾定律延續(xù)集成電路發(fā)展進(jìn)程的重要途徑之一，這就需要能夠滿足多種功能器件高密度集成的制造技術(shù)。多元兼容集成制造技術(shù)就是為此而開發(fā)的，該技術(shù)通過在更大范圍內(nèi)優(yōu)選結(jié)構(gòu)/功能材料組合，開發(fā)異質(zhì)集成制造工藝，大大拓展了功能微器件創(chuàng)新設(shè)計(jì)和制造的騰挪空間。經(jīng)過多年探索，目前已形成了涵蓋金屬、聚合物、陶瓷、復(fù)合材料的MEMS異質(zhì)異構(gòu)制造技術(shù)體系，并在多種類型功能器件研發(fā)中發(fā)揮了關(guān)鍵作用，初步展現(xiàn)了其基礎(chǔ)性支撐作用，相關(guān)技術(shù)獲得2016年度上海市技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)。 微系統(tǒng)集成發(fā)展趨勢 多元兼容集成制造技術(shù)  獲獎(jiǎng)情況 上海市技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)2016年團(tuán)隊(duì)獲獎(jiǎng) 國家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)2008年 上海市技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)2007年 超薄超快高熱流密度微通道散熱器 上海交通大學(xué)團(tuán)隊(duì)在長期研究經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)積累基礎(chǔ)上，創(chuàng)造性地提出了不同高熱導(dǎo)率材料組合構(gòu)造的復(fù)合結(jié)構(gòu)微通道散熱器設(shè)計(jì)方案，并基于多元兼容集成制造技術(shù)完成了多種尺寸樣品研制，其中，熱源面積與常用功率芯片尺度相當(dāng)?shù)某∩崞骼鋮s能力達(dá)到800W/cm2以上，在保留傳統(tǒng)微通道散熱器良好系統(tǒng)兼容性和適用性的基礎(chǔ)上達(dá)到了相當(dāng)高的散熱能力水平，為解決高功率芯片系統(tǒng)超高熱流密度散熱問題提供了一個(gè)深具可行性的解決方案。 高溫薄膜溫度傳感器研究  發(fā)動(dòng)機(jī)燃燒室等極端惡劣環(huán)境下（高溫、強(qiáng)振動(dòng)、強(qiáng)腐蝕等）的工作參數(shù)現(xiàn)場監(jiān)測對(duì)傳感器技術(shù)是嚴(yán)峻挑戰(zhàn)，國內(nèi)外研究廣泛。交大團(tuán)隊(duì)基于特種材料微納集成制造技術(shù)的長期積累，在高溫絕緣薄膜材料、多層薄膜應(yīng)力調(diào)控、曲面圖形化和高溫敏感介質(zhì)等技術(shù)上取得了一定突破，成功開發(fā)了多種可與現(xiàn)場結(jié)構(gòu)共型的高溫薄膜傳感器，具有體積小、環(huán)境擾動(dòng)小、響應(yīng)快、靈敏度高、可分布式安置等優(yōu)點(diǎn)，該團(tuán)隊(duì)已經(jīng)掌握了溫度、應(yīng)力/應(yīng)變、熱流等多種高溫狀態(tài)參數(shù)測量技術(shù)，適用溫度在800-1300℃之間。 薄膜絕緣電阻隨溫度的變化及測試結(jié)構(gòu) 高溫薄膜溫度傳感器制造及曲面圖形化技術(shù) 薄膜溫度傳感器在發(fā)動(dòng)機(jī)不同部位測溫需求 無線溫度傳感器測溫系統(tǒng) 高性能轉(zhuǎn)接板 基于轉(zhuǎn)接板的多芯片封裝是2.5D高密度集成最具可行性的方案之一。但是傳統(tǒng)的硅轉(zhuǎn)接板性價(jià)比不高，阻礙了廣泛應(yīng)用。上海交大團(tuán)隊(duì)基于非硅微加工技術(shù)的長期積累，突破了硅轉(zhuǎn)接板絕緣層完整性和再分布層熱隔離的難題，成功研制了漏電流極低的低成本高性能硅轉(zhuǎn)接板。此外，還開發(fā)了復(fù)合材料非硅轉(zhuǎn)接板，TCV陶瓷轉(zhuǎn)接板，TGV玻璃轉(zhuǎn)接板等各種三維封裝基板，實(shí)驗(yàn)室能夠針對(duì)不同類型器件三維高密度封裝的具體要求，定制開發(fā)不同功能的專用轉(zhuǎn)接板，為多功能、高密度、高功率、低成本封裝提供個(gè)性化解決方案。 TSV-3D 高密度封裝概念圖  金屬-聚合物-納米復(fù)合材料非硅基轉(zhuǎn)接板實(shí)物圖片

面向大尺寸高精度陶瓷及其復(fù)合材料復(fù)雜形狀結(jié)構(gòu)的成形，基于面曝光技術(shù)，開發(fā)了專用大尺寸陶瓷增材制造成形裝備及相關(guān)工藝。 技術(shù)特征 基于面曝光技術(shù)的陶瓷預(yù)制體成形設(shè)備可成形ZrO2、Al2O3陶瓷預(yù)制體，利用微透鏡陣列聚焦及光斑微偏移技術(shù)，分辨率可提升到37.5μm，結(jié)合收縮預(yù)測技術(shù)，大大提高陶瓷成形精度，成形尺寸達(dá)270mm×300mm×450mm，成形相對(duì)精度達(dá)到±1%，同時(shí)配套研發(fā)了無缺陷脫脂與燒結(jié)工藝，燒結(jié)樣件致密度可達(dá)97%。