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針對極紫外光刻機物鏡的溫管和溫控技術(shù)難題，設(shè)計和開發(fā)了針對極紫外光刻機的具有自主知識產(chǎn)權(quán)的超精密溫控裝置，目前已應(yīng)用在半導(dǎo)體制造業(yè)及光刻機生產(chǎn)廠商、高檔數(shù)控行業(yè)和民用航天上，涉及企事業(yè)單位共30余家。研制了不同控溫精度和控溫功率的系列產(chǎn)品，采用主動溫度控制方法，解決了單點溫度控制穩(wěn)定性和多通道溫度控制均勻性的問題；設(shè)計了具有功能模塊化的溫控層次結(jié)構(gòu)，解決了超精密溫控中系統(tǒng)內(nèi)外的擾動和時滯問題，控溫速度快；研制了大功率串聯(lián)半導(dǎo)體制冷模塊，結(jié)合模糊PID控制算法，提高了收斂速度、控制精度和抗擾動能力。項

本項目經(jīng)過多年研發(fā)，掌握了一種粉末冶金超細晶粒（均小于5微米）高強度鋼（抗壓強度達到2000MPa以上）的制備技術(shù)，該新型材料可用于高精度模具、精密齒輪、高強軸承等高精部件的制備。

本項目主要包括超細高純氧化鋁粉體及生物醫(yī)用氧化鋯納米粉體，以納米級、亞微米級的無機鹽、過渡金屬離子為中間原料制備，具有耐候性好、耐酸堿腐蝕、投資規(guī)模小、附加值高等優(yōu)點，應(yīng)用廣泛，能夠替代國外進口產(chǎn)品。 本項目是通過溶膠凝膠與水熱法相結(jié)合的技術(shù)手段，使易水解的金屬無機鹽或金屬醇鹽化合物在某種溶劑中與水發(fā)生反應(yīng)，經(jīng)過水解與縮聚過程逐漸凝膠化，再經(jīng)干燥、燒結(jié)等后處理得到超細粉末，避免了微粒的過度生長以及在液相中的團聚，可獲得粒徑分布很窄納米級。

應(yīng)用領(lǐng)域： 超凈工作臺是開展生物技術(shù)研究和實驗必不可少的基礎(chǔ)設(shè)備之一，該設(shè)備廣泛應(yīng)用于生物制藥，生物化學(xué)，環(huán)境監(jiān)測及電子儀器儀表等行業(yè)，供操作區(qū)空氣凈化使用。 ◆產(chǎn)品特點 1.垂直層流送風(fēng)，防止操作室內(nèi)部樣品相互交叉污染。 2.采用超高效無隔板過濾器，對0.3微米的顆粒過濾效率達到99.99%(操作區(qū)潔凈度遠高于100級）． 3.高品質(zhì)離心式，超低噪音風(fēng)機。 4.正壓式過濾系統(tǒng)，確保工作區(qū)域為無塵無菌環(huán)境。 5.人體工程學(xué)60傾斜角操作面，減輕操作者壓迫感； 6.工作臺面選用優(yōu)質(zhì)304不銹鋼材質(zhì)，美觀、易清理、耐腐蝕。 7.箱體表面采用靜電噴涂工藝，耐酸堿，美觀大方。 8.前窗采用全鋼化玻璃視窗及配重平衡，既可保證操作者的人身安全又任意升降，定位靈活， 工作區(qū)內(nèi)配備多功能插座，為操作者提供便利。兩側(cè)為透明玻璃視窗，內(nèi)外通透美觀舒適。  9.分體式結(jié)構(gòu)，下設(shè)角輪. 10.標配液晶智能控制器，具有高效過濾器失效報警功能、壓差顯示功能、 紫外殺菌定時功能、溫度顯示功能、預(yù)約開機功能、累計工作時間功能；手動調(diào)風(fēng)速。

最大功率（KW） : 1.1KW （含備用插座），操作臺側(cè)面?zhèn)溆胁?座，方便其它設(shè)備用電，無需另接電源。 熒光燈/紫外燈規(guī)格及數(shù)量14W X2/8WX2 在送風(fēng)系統(tǒng)設(shè)置“阻泄露”技術(shù)的優(yōu)質(zhì)HEPA FILTER器裝置， 對于0.3um的塵埃顆粒捕集效率》99.99%,確保達到潔凈度 IS05 級。 過濾材料：采用進口濾膜，材質(zhì)為硅硼酸鹽超細玻璃纖維，滿 足使用條件下的溫度、濕度、耐腐蝕性和機械強度的要求，無 釋放對人員、環(huán)境和設(shè)備產(chǎn)生不利影響的物質(zhì)。 風(fēng)機系統(tǒng)采用可調(diào)風(fēng)量風(fēng)機系統(tǒng)，輕觸型開關(guān)調(diào)節(jié)電壓，保證 工作區(qū)風(fēng)速始終處于理想態(tài)。 滑動前窗采用進口懸掛升降系統(tǒng)，使用鋼化安全玻璃能任意升 降定位技術(shù)，可靠性，無故障、免維護，并能完全關(guān)閉以便滅 困O 箱體及操作臺面材質(zhì)箱體采用優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板烤漆處理，操作臺 面為304不銹鋼。 安全互鎖功能照明和紫外燈具有安全互鎖功能，具有紫外燈預(yù) 約定時開關(guān)功能。

成果的背景及主要用途： 作為國家中長期科學(xué)技術(shù)發(fā)展的 11 個重點領(lǐng)域之首的能源領(lǐng)域，發(fā)展高效 潔凈超(超)臨界燃煤發(fā)電機組是實現(xiàn)節(jié)能減排的重要途徑，而蒸汽溫度和壓力的 提高使得高溫管道等設(shè)備的服役環(huán)境更加惡劣，特別在最薄弱的焊接接頭部位， 頻繁的早期失效事故引起的機組非計劃停運往往造成巨大的經(jīng)濟損失，甚至導(dǎo)致 嚴重的人員傷亡。因此，對設(shè)備進行科學(xué)準確的評估與預(yù)測，避免突發(fā)性的早期 失效，是保證機組安全運行的關(guān)鍵。 技術(shù)原理與工藝流程簡介： 該項目在國家自然科學(xué)基金委、天津市科委及電力行業(yè)的大力支持下，針對 超(超)臨界機組關(guān)鍵高溫設(shè)備，探明了耐熱鋼焊接細晶區(qū) IV 型開裂、焊縫內(nèi)部 埋藏裂紋、插套焊接頭振動疲勞開裂等典型早期失效的產(chǎn)生機理，并提出了耐熱 鋼焊接工藝、現(xiàn)場局部熱處理規(guī)范、插套焊焊接工藝與焊趾熔修用焊接材料等相 應(yīng)的延壽技術(shù)；開發(fā)了在役高溫設(shè)備實時老化性能的微創(chuàng)測試技術(shù)與設(shè)備，建立 了基于蠕變損傷累積的剩余壽命評估技術(shù)；揭示了殘余應(yīng)力和拘束水平對蠕變裂 紋擴展行為的影響機制，建立了定量考慮這兩者影響的高溫缺陷壽命預(yù)測模型， 豐富了高溫壽命評估方法。與國內(nèi)外同類技術(shù)相比，該項目提出的壽命預(yù)測模型 的精度大大提高，延壽技術(shù)更科學(xué)、全面、有效。 技術(shù)水平及專利與獲獎情況： 經(jīng)專家鑒定，達到了國際先進水平。該項目共申請國家發(fā)明專利 11 項（已 授權(quán) 4 項）、獲軟件著作權(quán) 3 項；發(fā)表論文 31 篇，其中 SCI 論文 12 篇，EI 論 文 9 篇，并多次在國內(nèi)外學(xué)術(shù)會議上做大會報告。 應(yīng)用前景分析及效益預(yù)測： 該項目推動了我國超(超)臨界機組高溫部件壽命評估與延壽技術(shù)的發(fā)展，解 決了超(超)臨界機組目前面臨的早期失效難題，不僅可保證機組的安裝質(zhì)量，而 83天津大學(xué)科技成果選編 且減少了不必要的返修，減少機組因非計劃停運和檢修周期超期帶來的巨大發(fā)電 損失，對機組的安全經(jīng)濟運行具有重要意義。 應(yīng)用領(lǐng)域：新技術(shù) 技術(shù)轉(zhuǎn)化條件： 近三年來，該項目開發(fā)的壽命評估軟件與延壽技術(shù)在全國 10 個省市的 16 個電廠得到應(yīng)用，經(jīng)濟效益達 2.3 億元，取得了顯著的社會經(jīng)濟效益。 合作方式及條件：根據(jù)具體情況面議

北京工業(yè)大學(xué)在晶界滑動塑性原子機制方面取得重要進展，北京工業(yè)大學(xué)以第一完成單位在Science上發(fā)表了首篇論文——Tracking the sliding of grain boundaries at the atomic scale（原子尺度追蹤晶界滑動）。