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針對極紫外光刻機物鏡的溫管和溫控技術(shù)難題，設(shè)計和開發(fā)了針對極紫外光刻機的具有自主知識產(chǎn)權(quán)的超精密溫控裝置，目前已應(yīng)用在半導(dǎo)體制造業(yè)及光刻機生產(chǎn)廠商、高檔數(shù)控行業(yè)和民用航天上，涉及企事業(yè)單位共30余家。研制了不同控溫精度和控溫功率的系列產(chǎn)品，采用主動溫度控制方法，解決了單點溫度控制穩(wěn)定性和多通道溫度控制均勻性的問題；設(shè)計了具有功能模塊化的溫控層次結(jié)構(gòu)，解決了超精密溫控中系統(tǒng)內(nèi)外的擾動和時滯問題，控溫速度快；研制了大功率串聯(lián)半導(dǎo)體制冷模塊，結(jié)合模糊PID控制算法，提高了收斂速度、控制精度和抗擾動能力。項

本項目經(jīng)過多年研發(fā)，掌握了一種粉末冶金超細(xì)晶粒（均小于5微米）高強度鋼（抗壓強度達(dá)到2000MPa以上）的制備技術(shù)，該新型材料可用于高精度模具、精密齒輪、高強軸承等高精部件的制備。

應(yīng)用領(lǐng)域： 超凈工作臺是開展生物技術(shù)研究和實驗必不可少的基礎(chǔ)設(shè)備之一，該設(shè)備廣泛應(yīng)用于生物制藥，生物化學(xué)，環(huán)境監(jiān)測及電子儀器儀表等行業(yè)，供操作區(qū)空氣凈化使用。 ◆產(chǎn)品特點 1.垂直層流送風(fēng)，防止操作室內(nèi)部樣品相互交叉污染。 2.采用超高效無隔板過濾器，對0.3微米的顆粒過濾效率達(dá)到99.99%(操作區(qū)潔凈度遠(yuǎn)高于100級）． 3.高品質(zhì)離心式，超低噪音風(fēng)機。 4.正壓式過濾系統(tǒng)，確保工作區(qū)域為無塵無菌環(huán)境。 5.人體工程學(xué)60傾斜角操作面，減輕操作者壓迫感； 6.工作臺面選用優(yōu)質(zhì)304不銹鋼材質(zhì)，美觀、易清理、耐腐蝕。 7.箱體表面采用靜電噴涂工藝，耐酸堿，美觀大方。 8.前窗采用全鋼化玻璃視窗及配重平衡，既可保證操作者的人身安全又任意升降，定位靈活， 工作區(qū)內(nèi)配備多功能插座，為操作者提供便利。兩側(cè)為透明玻璃視窗，內(nèi)外通透美觀舒適。  9.分體式結(jié)構(gòu)，下設(shè)角輪. 10.標(biāo)配液晶智能控制器，具有高效過濾器失效報警功能、壓差顯示功能、 紫外殺菌定時功能、溫度顯示功能、預(yù)約開機功能、累計工作時間功能；手動調(diào)風(fēng)速。

最大功率（KW） : 1.1KW （含備用插座），操作臺側(cè)面?zhèn)溆胁?座，方便其它設(shè)備用電，無需另接電源。 熒光燈/紫外燈規(guī)格及數(shù)量14W X2/8WX2 在送風(fēng)系統(tǒng)設(shè)置“阻泄露”技術(shù)的優(yōu)質(zhì)HEPA FILTER器裝置， 對于0.3um的塵埃顆粒捕集效率》99.99%,確保達(dá)到潔凈度 IS05 級。 過濾材料：采用進(jìn)口濾膜，材質(zhì)為硅硼酸鹽超細(xì)玻璃纖維，滿 足使用條件下的溫度、濕度、耐腐蝕性和機械強度的要求，無 釋放對人員、環(huán)境和設(shè)備產(chǎn)生不利影響的物質(zhì)。 風(fēng)機系統(tǒng)采用可調(diào)風(fēng)量風(fēng)機系統(tǒng)，輕觸型開關(guān)調(diào)節(jié)電壓，保證 工作區(qū)風(fēng)速始終處于理想態(tài)。 滑動前窗采用進(jìn)口懸掛升降系統(tǒng)，使用鋼化安全玻璃能任意升 降定位技術(shù)，可靠性，無故障、免維護(hù)，并能完全關(guān)閉以便滅 困O 箱體及操作臺面材質(zhì)箱體采用優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板烤漆處理，操作臺 面為304不銹鋼。 安全互鎖功能照明和紫外燈具有安全互鎖功能，具有紫外燈預(yù) 約定時開關(guān)功能。

成果簡介：以木質(zhì)纖維、合成樹脂、防水劑為主要原料制成的纖維板，其內(nèi) 部結(jié)合點之間仍具有多孔隙，一經(jīng)吸濕、吸水之后就會引起纖維板的變形、 膨脹和強度減弱，就會影響其應(yīng)用范圍和使用壽命，所以纖維板生產(chǎn)過程中 必須添加疏水性的物質(zhì)（即防水劑）進(jìn)行防水技術(shù)處理。纖維板生產(chǎn)中通常 采用的防水劑主要是石蠟，用固體石蠟作為防水劑，屬于一種阻隔纖維之間 孔隙的物理現(xiàn)象，這種現(xiàn)象能改善纖維板的防水性能，但不利于纖維與纖

成果的背景及主要用途： 作為國家中長期科學(xué)技術(shù)發(fā)展的 11 個重點領(lǐng)域之首的能源領(lǐng)域，發(fā)展高效潔凈超(超)臨界燃煤發(fā)電機組是實現(xiàn)節(jié)能減排的重要途徑，而蒸汽溫度和壓力的提高使得高溫管道等設(shè)備的服役環(huán)境更加惡劣，特別在最薄弱的焊接接頭部位，頻繁的早期失效事故引起的機組非計劃停運往往造成巨大的經(jīng)濟損失，甚至導(dǎo)致嚴(yán)重的人員傷亡。因此，對設(shè)備進(jìn)行科學(xué)準(zhǔn)確的評估與預(yù)測，避免突發(fā)性的早期失效，是保證機組安全運行的關(guān)鍵。 技術(shù)原理與工藝流程簡介： 該項目在國家自然科學(xué)基金委、天津市科委及電力行業(yè)的大力支持下，針對超(超)臨界機組關(guān)鍵高溫設(shè)備，探明了耐熱鋼焊接細(xì)晶區(qū) IV 型開裂、焊縫內(nèi)部埋藏裂紋、插套焊接頭振動疲勞開裂等典型早期失效的產(chǎn)生機理，并提出了耐熱鋼焊接工藝、現(xiàn)場局部熱處理規(guī)范、插套焊焊接工藝與焊趾熔修用焊接材料等相應(yīng)的延壽技術(shù)；開發(fā)了在役高溫設(shè)備實時老化性能的微創(chuàng)測試技術(shù)與設(shè)備，建立了基于蠕變損傷累積的剩余壽命評估技術(shù)；揭示了殘余應(yīng)力和拘束水平對蠕變裂紋擴展行為的影響機制，建立了定量考慮這兩者影響的高溫缺陷壽命預(yù)測模型，豐富了高溫壽命評估方法。與國內(nèi)外同類技術(shù)相比，該項目提出的壽命預(yù)測模型的精度大大提高，延壽技術(shù)更科學(xué)、全面、有效。 技術(shù)水平及專利與獲獎情況： 經(jīng)專家鑒定，達(dá)到了國際先進(jìn)水平。該項目共申請國家發(fā)明專利 11 項（已授權(quán) 4 項）、獲軟件著作權(quán) 3 項；發(fā)表論文 31 篇，其中 SCI 論文 12 篇，EI 論文 9 篇，并多次在國內(nèi)外學(xué)術(shù)會議上做大會報告。 應(yīng)用前景分析及效益預(yù)測： 該項目推動了我國超(超)臨界機組高溫部件壽命評估與延壽技術(shù)的發(fā)展，解決了超(超)臨界機組目前面臨的早期失效難題，不僅可保證機組的安裝質(zhì)量，而且減少了不必要的返修，減少機組因非計劃停運和檢修周期超期帶來的巨大發(fā)電損失，對機組的安全經(jīng)濟運行具有重要意義。 應(yīng)用領(lǐng)域：新技術(shù) 技術(shù)轉(zhuǎn)化條件： 近三年來，該項目開發(fā)的壽命評估軟件與延壽技術(shù)在全國 10 個省市的 16個電廠得到應(yīng)用，經(jīng)濟效益達(dá) 2.3 億元，取得了顯著的社會經(jīng)濟效益。 合作方式及條件：根據(jù)具體情況面議

在一般腐蝕介質(zhì)環(huán)境中工作的管板，通常由普通金屬，如鑄鐵、碳鋼、鋁合金、不 銹鋼、鈦合金等，金屬表面襯有防腐高分子材料如橡膠，或由浸漬石墨制成。倘若工作 環(huán)境為強腐蝕介質(zhì)，就必須使用鋯、鈮、鉭等貴金屬材料，或者碳化硅（SiC）等陶瓷 材料，這些材料的成本不僅十分昂貴，而且機械性能或者加工性能不足，難以在大尺寸 的管板中應(yīng)用。

目前在阻燃材料領(lǐng)域最常用的技術(shù)有添加型阻燃技術(shù)和反應(yīng)型阻燃技術(shù)兩種。在添加型 阻燃技術(shù)中，所用的阻燃劑為含鹵、含磷、含硼、含銻及其它金屬元素，能夠有效的阻燃，但 是其危害性很大，使用中會污染環(huán)境。因此，阻燃材料不僅要求其具有高的阻燃效率，而且要 求其燃燒時無毒、低煙、對環(huán)境影響小。添加無鹵阻燃劑 (氫氧化鋁或氫氧化鎂) 的阻燃材料 可以滿足這些要求。如果采用氫氧化鋁或氫氧化鎂，為了達(dá)到UL94V-0級，其質(zhì)量分?jǐn)?shù)要達(dá)到 60％～70％，致使材料的拉伸強度、伸長率、沖擊強度降低。將本征阻燃聚合物如酚醛樹脂、 多乙炔苯、聚酰亞胺 (PI) 及其衍生物、聚苯并咪唑 (PBI) 等反應(yīng)結(jié)合到基體樹脂上得到阻燃改 性的基體樹脂也是目前研發(fā)的方向之一。 材料的阻燃性，通常是通過氣相阻燃、凝聚相阻燃及中斷熱交換阻燃等機理來實現(xiàn)。凝聚 相阻燃機理是指在凝聚相中延緩或中斷阻燃材料熱分解而達(dá)到阻燃效果。阻燃材料燃燒時在其 表面生成難燃、隔熱、隔氧炭層，可阻止可燃?xì)膺M(jìn)入燃燒氣相及外部熱源向材料的內(nèi)部傳遞， 致使燃燒中斷。本技術(shù)依據(jù)凝聚相阻燃機理，制了備高性能的無鹵阻燃板。

此專利產(chǎn)品是對目前廣泛用于水處理工程的斜板（管）的改進(jìn)產(chǎn)品，不改變斜板（管） 的基本工作原理，通過安裝組合與工藝應(yīng)用條件的變化，實現(xiàn)以下特性： 1.將傳統(tǒng)斜板（管）的架空安裝改為落地安裝，難度降低； 2.清水從底部渠道引出，不再需要安裝造價較高的集水槽； 3.出水面由水平面改為垂直面，不再積泥，不需要經(jīng)常沖洗； 4.清水被封閉在底部，不見陽光，沉淀池不再滋生藻類； 5.充分利用池深，增加斜板（管）的安裝數(shù)量，產(chǎn)能提高； 6.成組安裝，不再封閉池面，改管道排泥為機械排泥，不積泥。