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本實(shí)用新型公開(kāi)了一種硅通孔結(jié)構(gòu)，其形成于硅片上，并包括摻雜粒子構(gòu)成的導(dǎo)電區(qū)和絕緣區(qū)，絕緣區(qū)與所述導(dǎo)電區(qū)摻雜的粒子的極性相反，所述導(dǎo)電區(qū)表面覆蓋有金屬電極，所述硅片的表面除所述金屬電極之外的區(qū)域覆蓋有絕緣層。本實(shí)用新型硅通孔結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)在于：通過(guò)粒子摻雜方式形成硅通孔結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電區(qū)和絕緣區(qū)，導(dǎo)電區(qū)和絕緣區(qū)的基體都還是硅片本身，避免了目前硅通孔技術(shù)中金屬和硅片熱膨脹系數(shù)不同造成的熱應(yīng)力問(wèn)題，能夠提高器件的可靠性和壽命。

本發(fā)明公開(kāi)了一種硅通孔結(jié)構(gòu)的制造方法，包括以下步驟：將硅片的厚度減薄至 5 微米至 20 微米；去除硅片表面的所有絕緣層；在硅片的導(dǎo)電區(qū)表面和絕緣區(qū)表面制作摻雜掩膜，以對(duì)導(dǎo)電區(qū)和絕緣區(qū)分別進(jìn)行粒子摻雜，絕緣區(qū)與導(dǎo)電區(qū)摻雜的粒子的極性相反；在粒子摻雜完成后去除摻雜掩膜；在導(dǎo)電區(qū)表面覆蓋金屬電極；在硅片的表面除金屬電極之外的區(qū)域覆蓋絕緣層。本發(fā)明的方法制造工藝簡(jiǎn)單，可避免刻蝕、絕緣處理等工藝對(duì)硅片的破壞，并能夠提高制造硅通孔結(jié)構(gòu)的成品率。本發(fā)明還公開(kāi)了一種硅通孔結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明公開(kāi)了一種電場(chǎng)輔助的硅通孔刻蝕工藝，包括步驟：（1）在單晶硅片上旋涂光刻膠并通過(guò)光學(xué)光刻或電子束光刻得到光刻膠圖形 ；（ 2 ） 鍍 上 銀 膜 或 金 膜 ；（ 3 ） 在 電 場(chǎng) 之 中 ， 采 用 HF 、H₂O₂和去離子水的混合溶液作為刻蝕劑進(jìn)行金屬催化刻蝕；（4）去除光刻膠；（5）去除單晶硅片上殘留的金屬膜并進(jìn)行清洗處理。本發(fā)明通過(guò)在刻蝕過(guò)程中控制電場(chǎng)強(qiáng)度，由此形成從數(shù)十納米至數(shù)

本發(fā)明公開(kāi)了一種硅通孔互連結(jié)構(gòu)的制備方法，步驟為①將鍵合硅器件晶圓鍵合于硅晶圓基板上；②減薄硅器件晶圓，再刻蝕硅器件晶圓，形成盲孔；③在硅器件晶圓上涂敷一層圖案化介電材料(如聚對(duì)二甲苯)；④刻蝕圖案化介電質(zhì)層，刻蝕掉盲孔底部的介電材料，保留盲孔側(cè)壁；在基板上形成介電質(zhì)孔，使介電質(zhì)孔和盲孔同軸；⑤在介電質(zhì)孔上沉積一層導(dǎo)電材料，作為導(dǎo)電層，形成導(dǎo)電孔；⑥在導(dǎo)電層上再沉積一層圖案化介電質(zhì)層；⑦移除基板，在導(dǎo)電層上形成焊料微凸點(diǎn)。本發(fā)明簡(jiǎn)化了工藝步驟，減少工藝時(shí)間并降低了費(fèi)用；降低了寄生電容，提升了互連電性

本發(fā)明公開(kāi)了一種加工硅通孔互連結(jié)構(gòu)的工藝方法，步驟為：①在基板上刻蝕盲孔；②在基板上沉積一層圖案化介電質(zhì)層；③刻蝕圖案化介電質(zhì)層，刻蝕掉盲孔底部的介電材料，保留盲孔側(cè)壁的介電材料，在基板上形成介電質(zhì)孔；④在介電質(zhì)孔上沉積一層導(dǎo)電材料，形成導(dǎo)電孔；⑤在導(dǎo)電層上再沉積一層圖案化介電質(zhì)層，填充導(dǎo)電孔；⑥刻蝕板背面，暴露出導(dǎo)電層，在導(dǎo)電層上形成焊料微凸點(diǎn)。圖案化介電質(zhì)層的材料優(yōu)選聚對(duì)二甲苯。本發(fā)明簡(jiǎn)化了工藝步驟，減少工藝時(shí)間并降低了費(fèi)用；使用二層圖案化介電質(zhì)層，降低了寄生電容，提升了互連電性能，適用于高速和

產(chǎn)品詳細(xì)介紹U教通產(chǎn)品簡(jiǎn)介六大核心功能海量教學(xué)資源--    擁有包含全學(xué)科、全學(xué)段，及知識(shí)點(diǎn)的課件與試題資源、試卷資源，能夠幫助教師精準(zhǔn)找到所需內(nèi)容。個(gè)性化資源管理 -- 教師可以根據(jù)資源對(duì)應(yīng)屬性（學(xué)段、學(xué)科、知識(shí)點(diǎn)）上傳個(gè)人資源，也可以導(dǎo)入/創(chuàng)建試卷試題，建立自己的教學(xué)資源庫(kù)。分享個(gè)人資源到校本資源庫(kù)，還能實(shí)現(xiàn)優(yōu)質(zhì)資源共建共享。手機(jī)一站式教學(xué)--  利用手機(jī)APP，為教師實(shí)現(xiàn)教學(xué)資源應(yīng)用、完成課前備課工作、進(jìn)行課中授課、以及課后作業(yè)任務(wù)布置和答題結(jié)果查看的全流程一站式教學(xué)應(yīng)用。移動(dòng)式互動(dòng)教學(xué)--  可以通過(guò)手機(jī)將豐富的多媒體資源與PPT課件進(jìn)行投屏展示、標(biāo)注，也可利用手機(jī)拍照將學(xué)生作答進(jìn)行投屏對(duì)比，配合移動(dòng)板書(shū)、標(biāo)注工具、聚光燈等實(shí)用工具營(yíng)造多彩課堂。課堂教學(xué)全記錄--  對(duì)課堂教學(xué)過(guò)程進(jìn)行錄屏和聲音采集，對(duì)課件使用和學(xué)生答題進(jìn)行記錄，實(shí)現(xiàn)課堂數(shù)據(jù)云端保留，有助于教師后期的查看、調(diào)用與分享。教學(xué)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)--    實(shí)現(xiàn)資源應(yīng)用、資源匯總、教學(xué)應(yīng)用（備課、作業(yè)）、作業(yè)成績(jī)的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，以可視化方式展現(xiàn)不同板塊的數(shù)據(jù)分析情況，有助于監(jiān)測(cè)信息化教學(xué)整體應(yīng)用程度，以及不同板塊的使用情況。輕量級(jí)資金投入解決學(xué)校重要需求1、全校教室升級(jí)為移動(dòng)教學(xué)應(yīng)用模式2、提供強(qiáng)大資源管理服務(wù)及人人通應(yīng)用空間3、教學(xué)應(yīng)用指導(dǎo)課程及實(shí)際案例課程解讀4、全面的教學(xué)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)及教學(xué)軌跡記錄為教師解決的核心問(wèn)題--拿起手機(jī)就能完成以下教學(xué)工作，為老師減輕負(fù)擔(dān)提升效率1、課前高效查找海量資源進(jìn)行備課2、課中直接調(diào)用備課資源進(jìn)行授課  3、實(shí)現(xiàn)多模式課堂移動(dòng)互動(dòng)教學(xué)4、便捷發(fā)布課前導(dǎo)學(xué)任務(wù)&課后作業(yè)5、實(shí)現(xiàn)作業(yè)智能判與輕松判6、查看課堂教學(xué)全記錄與綜合學(xué)情分析及統(tǒng)計(jì)

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種硅晶圓微盲孔金屬填充裝置，包括孔板和真空回流裝置；所述孔板置于硅晶圓的表面的孔板，孔板上加工有多個(gè)用于填充金屬小球的小孔，小孔與硅晶圓的微盲孔位置一一對(duì)應(yīng)；所述真空回流裝置用于在真空環(huán)境下熔化金屬小球。本實(shí)用新型通過(guò)孔板小孔大小和厚度，金屬小球的大小來(lái)控制每個(gè)小孔內(nèi)外金屬體積和位置，并通過(guò)抽真空來(lái)避免盲孔填充金屬時(shí)由于孔內(nèi)氣室和金屬表面張力的作用而導(dǎo)致空洞缺陷。

? ? ? 主要功能特點(diǎn)：★接收主機(jī)可與任意帶話筒接口的有源音箱、功放搭配使用，實(shí)現(xiàn)無(wú)線話筒功能；接收機(jī)采用鋁合金材質(zhì)，黑色磨砂質(zhì)感外殼，外觀大方、輕便；★使用2.4G數(shù)字射頻技術(shù)，有效避免傳輸干擾，同時(shí)使用1000套無(wú)竄頻，滿足同一場(chǎng)所大量使用的需要；★主機(jī)內(nèi)置雙2.4G模板，更有效的的加強(qiáng)話筒音質(zhì)效果；★雙通道，支持在同一主機(jī)上同時(shí)使用兩只2.4G話筒；為增強(qiáng)信號(hào)接收，可選配外置延長(zhǎng)天線，適用于特殊或開(kāi)闊的環(huán)境使用。 ? ? ? 主要技術(shù)參數(shù)：發(fā)射頻率：2400~2483.5MHz；調(diào)制方式：GFSK；解調(diào)動(dòng)態(tài)范圍：-81dB；接收靈敏度：-85dBm；發(fā)射功率：10 dBm；采樣率：32KHz；分辨率：16bits；失真度：THD 0.1%；傳輸范圍：約20M（視環(huán)境變化）；工作溫度：-20~75度；頻率響應(yīng)：50Hz-15KHz；信噪比：90dB；輸出電平：200mv;電源供電：5V直流供電。 ? ? ??資質(zhì)：中央電教館認(rèn)證、ISO9001、ISO14001、OHSAS18001、FCC、商務(wù)部企業(yè)信用等級(jí)AAA級(jí)認(rèn)證、全國(guó)質(zhì)量檢驗(yàn)穩(wěn)定合格產(chǎn)品

? ? ? 主要功能特點(diǎn)：★接收主機(jī)可與任意帶話筒接口的有源音箱、功放搭配使用，實(shí)現(xiàn)無(wú)線話筒功能；接收機(jī)采用鋁合金材質(zhì)，黑色磨砂質(zhì)感外殼，外觀大方、輕便；★使用2.4G數(shù)字射頻技術(shù)，有效避免傳輸干擾，同時(shí)使用1000套無(wú)竄頻，滿足同一場(chǎng)所大量使用的需要；為增強(qiáng)信號(hào)接收，可選配外置延長(zhǎng)天線，適用于特殊或開(kāi)闊的環(huán)境使用。 ? ? ? 主要技術(shù)參數(shù)：發(fā)射頻率：2400~2483.5MHz；調(diào)制方式：GFSK；解調(diào)動(dòng)態(tài)范圍：-81dB；接收靈敏度：-85dBm；發(fā)射功率：10 dBm；采樣率：32KHz；分辨率：16bits；失真度：THD 0.1%；傳輸范圍：約20M（視環(huán)境變化）；工作溫度：-20~75度；頻率響應(yīng)：50Hz-15KHz；信噪比：90dB；輸出電平：200mv;電源供電：5V直流供電。 ? ? ??資質(zhì)：ISO9001、ISO14001、OHSAS18001、FCC、商務(wù)部企業(yè)信用等級(jí)AAA級(jí)認(rèn)證、全國(guó)質(zhì)量檢驗(yàn)穩(wěn)定合格產(chǎn)品

皮膚潰瘍是指不同原因所導(dǎo)致的身體表面組織壞死、潰爛、缺損的一類疾病；慢性皮膚潰瘍是一種常見(jiàn)的難治性疾病，它包括血管性潰瘍、壓迫性潰瘍、放射性潰瘍及感染性潰瘍等，常見(jiàn)于麻風(fēng)病和糖尿病等患者。皮膚潰瘍按不同的致病因素可分為創(chuàng)傷感染，壓迫性潰瘍，靜脈性潰瘍，糖尿病潰瘍和其他因素。在發(fā)生人群方面：由創(chuàng)傷所致的體表慢性難愈合創(chuàng)面以20-50歲的中青年為主；糖尿病，壓迫性和靜脈性潰瘍以60歲以上的老年人為主。本項(xiàng)目采用溶膠-凝膠法制備了介孔鈣硅凝膠材料，該材料具有很高的比表面積和均勻可調(diào)的納米孔道，是集生物降解性和生物活性于一體的新型生物材料，介孔結(jié)構(gòu)和孔徑可調(diào)控性是納米介孔干凝膠治療皮膚潰瘍的本質(zhì)。將納米介孔和硅基干凝膠的優(yōu)勢(shì)有機(jī)結(jié)合起來(lái)，設(shè)計(jì)研制具有納米介孔結(jié)構(gòu)的硅基干凝膠新型治療皮膚潰瘍材料，使之不僅具有很好的生物相容性，而且材料能夠生物降解，同時(shí)，材料降解時(shí)能釋放硅等離子，調(diào)控細(xì)胞的行為，加速組織愈合，以克服現(xiàn)有治療皮膚潰瘍材料的缺陷。介孔鈣硅凝膠可用于不同醫(yī)用場(chǎng)合的治療皮膚潰瘍，包括婦科宮頸糜爛；糖尿病性潰瘍；手術(shù)、外傷造成的創(chuàng)面；褥瘡、壓力性潰瘍；皮膚、粘膜潰瘍及糜爛性病變；局限性的II或III燒、燙傷創(chuàng)面；難以愈合的傷口等。同時(shí)可利用其介孔結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)負(fù)載藥物和生物活性因子，以提高治療的效果。