壓電-電磁復合式振動能量收集器及其制備方法
本發明提供了一種壓電?電磁復合式振動能量收集器及其制備方法,該振動能量收集器包括相互堆疊的第一襯底、第二襯底和第三襯底;所述第一襯底、所述第三襯底經刻蝕分別形成第一、第二懸臂梁結構,其中所述第一襯底的下表面形成有第一凹槽、所述第一凹槽上方為第一懸臂梁結構,所述第三襯底的上表面形成有第二凹槽、所述第二凹槽下方為第二懸臂梁結構;所述第二襯底的上、下表面相對應的位置形成有第三凹槽和第四凹槽,以組裝形成三組不同諧振頻率的拾振結構。通過該制備方法所制備的振動能量收集器具有高的能量收集效率、輸出功率和輸出功率密度(W/cm2),還具有尺寸小、精度高、易于批量制造、制造成本低以及易于小型化的優點。
東南大學
2021-04-11