基于IP庫的通用MEMS器件可視化仿真與驗證工具
                                        
                                            	項目的背景及目的	迄今為止,集成電路的模擬、仿真直至評測已有了非常完善的工具軟件;并已成為設(shè)計過程的重要組成部分;對設(shè)計的成功、可靠、高效都已起到?jīng)Q定性作用。而對MEMS而言,還相差甚遠(yuǎn),這和MEMS發(fā)展的成熟程度有著直接關(guān)系。當(dāng)然,這并不意味著MEMS不需要這樣的工具和系統(tǒng)。相反,由于MEMS的功能多樣、加工復(fù)雜、分析困難、設(shè)計周期長、成本高等。特別需要一個能包括運動仿真、評測在內(nèi)的設(shè)計工具和系統(tǒng)。這是當(dāng)前推動MEMS發(fā)展的當(dāng)務(wù)之急。
                                        
                                        
                                            南開大學(xué)
                                            2021-04-14