大尺寸多頻段應(yīng)用BiLuIG單晶薄膜材料
本項(xiàng)目共包括8項(xiàng)授權(quán)專利,另有20余項(xiàng)專利正處于公開階段。 項(xiàng)目主要?jiǎng)?chuàng)新點(diǎn)為:(1)提出了一種Bi+Lu共摻雜新配方,實(shí)現(xiàn)了在傳統(tǒng)GGG襯底上外延出具有大法拉第效應(yīng)的BiLuIG石榴石單晶薄膜材料。 (2)提出了“緩沖法”技術(shù),克服了無(wú)鉛液相外延工藝中熔體粘度偏高,薄膜均勻性差的難題,成功制備出3英寸的高質(zhì)量單晶BiLuIG薄膜材料,厚度可達(dá)20微米以上,其法拉第效應(yīng)是含鉛工藝制備材料的10倍。項(xiàng)目總體達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平,其中在Bi+Lu共摻雜材料設(shè)計(jì)和無(wú)鉛液相
電子科技大學(xué)
2021-04-14