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本硅微諧振式壓力傳感器采用自主設(shè)計的膜片——諧振梁式復(fù)合敏感結(jié)構(gòu)、自主探索的工藝流程和自主研發(fā)的信號處理技術(shù)，具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和靈敏度，且敏感結(jié)構(gòu)比國外同類產(chǎn)品簡單，適合國內(nèi)工藝水平現(xiàn)狀。 該傳感器用于大氣壓力測量或液體壓力測量，在氣象、航空、石油、化工、電力等領(lǐng)域應(yīng)用前景廣闊。目前，該技術(shù)已達到小批量樣機生產(chǎn)的實用要求。

鈦硅分子篩（TS-1）對于以雙氧水為氧化劑的許多低溫有機反應(yīng)，如烯烴環(huán)氧化、醇類氧化為醛或酮、芳香族化合物羥基化反應(yīng)以及環(huán)已酮氨肟化反應(yīng)中都表現(xiàn)出較高的性能，已在苯酚羥基化和環(huán)已酮氨肟化工業(yè)生產(chǎn)過程中得以應(yīng)用。目前工業(yè)TS-1分子篩合成方法是以四丙基氫氧化銨（TPAOH）為模板劑，使正硅酸乙酯（TEOS）和鈦酸酯相繼水解，先經(jīng)水熱合成得到初產(chǎn)品，再對

已有樣品/n在主流硅基FinFET集成工藝基礎(chǔ)上，通過高級刻蝕技術(shù)形成體硅絕緣硅Fin和高k金屬柵取代柵工藝中選擇腐蝕SiO2相結(jié)合，最終形成全隔離硅基環(huán)柵納米線MOS器件的新方法。并在取代柵中絕緣硅Fin釋放之后，采用氧化和氫氣退火兩種工藝分別將隔離的“多邊形硅Fin”轉(zhuǎn)化成“倒水滴形”和“圓形”兩種納米線結(jié)構(gòu)。

在集成電路、太陽能電池等制造產(chǎn)業(yè)中，單晶硅在線切割過程中會產(chǎn)生大量的廢砂漿。廢砂漿經(jīng)預(yù)處理，除去聚乙二醇和大顆粒碳化硅，剩余部分稱為環(huán)保廢砂漿，其主要成分為二氧化硅、硅、小顆粒碳化硅及少量金屬雜質(zhì)。然而，環(huán)保廢砂漿易自燃，人們對其回收利用研究的很少，一般封存填埋處理，不但造成資源浪費，而且給環(huán)境帶來巨大的危害。本項目利用環(huán)保廢砂漿制備附加值高、應(yīng)用廣泛的白炭黑并分離回收碳化硅的資源化工藝，具有較為重要的環(huán)境保護和循環(huán)經(jīng)濟意義。制得二氧化硅含量可達到98%以上，各項指標達到白炭黑產(chǎn)品的國家標準。

產(chǎn)品詳細介紹　　　廣州市奧力生體育設(shè)施有限公司是集設(shè)計、開發(fā)、生產(chǎn)、銷售、鋪裝及售后服務(wù)于一體的專業(yè)運動場設(shè)施營造公司，主要從事項目有塑膠跑道、籃球場、網(wǎng)球場、排球場、羽毛球場，人造草坪，室內(nèi)運動木地板等。公司積極推行“廣納良才”的企業(yè)策略，現(xiàn)擁有多名長期從事康體設(shè)施研究、創(chuàng)新、開發(fā)的專家、學(xué)者及工程師等專業(yè)人才，技術(shù)力量雄厚，通過引進和吸收國外先進的生產(chǎn)技術(shù)，并在此基礎(chǔ)上進行改造和創(chuàng)新，不斷擴大規(guī)模，以新型環(huán)保產(chǎn)品贏得市場，回報社會。　　　“奧力生牌”塑膠球場按中國國家標準GB/T14833-93組織生產(chǎn)、鋪裝，并制定了適應(yīng)不同環(huán)境的內(nèi)控指標，產(chǎn)品完全符合國際田聯(lián)、國家體委對運動球場珠嚴格要求。塑膠球場鋪面現(xiàn)主要有紅、綠、藍、黃等多種顏色，并可按用戶要求和使用環(huán)境制成其他各種不同顏色。　　　　現(xiàn)生產(chǎn)基地占地12000平方米，具有年產(chǎn)5000噸聚氨酯材料的生產(chǎn)能力和年鋪裝40萬平方米塑膠跑道及塑膠球場面層的施工能力,所生產(chǎn)的高品質(zhì)塑膠地面鋪裝材料以流平性好、物理性能指標高、環(huán)保性好深受廣大 用戶和合作單位的稱贊。運動球場地面系列產(chǎn)品：1）PU全塑型球場面層超強耐磨防滑,高彈性,一體成型面層,厚度均勻,不鼓泡,耐老化,色彩鮮艷,適用于各種比賽場地,維護方便。2）PU復(fù)合型球場面層抗紫外線，有效避免運動傷害，強韌的彈性層及緩沖層，抗釘鞋磨損，軟硬適中，耐磨性佳。3）EPDM透氣型球場面層美觀耐用，全天候使用環(huán)保無公害，不褪色，不掉顆粒、不積水、采用進口先進機械施工，平整度極佳

本實用新型公開了一種硅晶圓微盲孔金屬填充裝置，包括孔板和真空回流裝置；所述孔板置于硅晶圓的表面的孔板，孔板上加工有多個用于填充金屬小球的小孔，小孔與硅晶圓的微盲孔位置一一對應(yīng)；所述真空回流裝置用于在真空環(huán)境下熔化金屬小球。本實用新型通過孔板小孔大小和厚度，金屬小球的大小來控制每個小孔內(nèi)外金屬體積和位置，并通過抽真空來避免盲孔填充金屬時由于孔內(nèi)氣室和金屬表面張力的作用而導(dǎo)致空洞缺陷。

基于CMOS工藝，設(shè)計了大量射頻、毫米波收發(fā)機和頻率源芯片； CMOS 90nm 60GHz 接收機芯片，集成片上天線，傳輸效率優(yōu)于IBM芯片90%； CMOS 90nm 21dBm 60GHz功率放大器，性能優(yōu)于Hittite商用GaAs芯片； CMOS 60GHz 移相器芯片，為開發(fā)毫米波相控陣芯片奠定良好基礎(chǔ)；

項目成果/簡介:目前鋰離子電池的能量密度已經(jīng)越來越不能滿足其在電動汽車、智能手機和大規(guī)模儲能方面的應(yīng)用。鋰離子電池的能量密度低主要是因為所采用的正負極材料的比容量較低，尤其是負極材料石墨，其理論比容量為 372 mAh/g。目前研究最多的、最具有商業(yè)化前景的負極材料為硅基負極材料，其理論比容量為 4200 mAh/g，是石墨的十倍以上。據(jù)招商證券預(yù)計，硅基負極材料在 2020 年的市場使用量接近于 5 萬噸，銷售額接近于 50 億。 然而硅基材料在充放電過程中較大的體積變化率（>300%）限制了其商業(yè)化應(yīng)用，較大的體積變化導(dǎo)致極片碎裂以及電解液在材料表面持續(xù)分解，從而造成其循環(huán)性能劇烈下降。另外，硅基材料為半導(dǎo)體，其導(dǎo)電性較差，從而導(dǎo)致硅基負極材料的倍率性能較差。如何解決硅基負極材料這兩大缺點是普及硅基材料在鋰離子電池應(yīng)用的關(guān)鍵。 陳永勝教授課題組結(jié)合在納米技術(shù)和石墨烯材料領(lǐng)域的專長，經(jīng)過近 10 幾年的研究，采用低成本的原材料、易工業(yè)化的工藝技術(shù)制備了石墨烯包覆的硅基負極材料，主要技術(shù)創(chuàng)新點包括：1）采用獨特的、具有自主知識產(chǎn)權(quán)的納米技術(shù)將大粒徑的硅粉進行納米化處理，納米化大大緩解了硅在充放電過程中體積變化的問題，從而從根本上解決了硅基負極材料循環(huán)性能差的問題；2）石墨烯包覆則充分發(fā)揮了石墨烯導(dǎo)電導(dǎo)熱性能好、機械性能優(yōu)異、電化學(xué)性能穩(wěn)定等特點，改善了材料的鋰離子擴散性能和電子導(dǎo)電性，大大提高了功率特性； 14隔絕了硅與電解液的直接接觸，抑制副反應(yīng)造成的電解液分解和材料侵蝕，提高了首次效率，延緩了使用過程中的壽命衰減；進一步減緩了充放電過程中硅的體積變化，維持材料結(jié)構(gòu)的整體穩(wěn)定性，極大地提升了循環(huán)特性。效益分析:陳永勝教授課題組發(fā)明的石墨烯包覆硅基負極材料，從制備過程上講，具有工藝簡單、成本低廉、易工業(yè)化的特點；從性能上講，具有比容量高、穩(wěn)定性好、壓實密度大等優(yōu)點，與高比容量正極組成的鋰離子電池的能量密度是當(dāng)前商業(yè)化鋰離子電池能量密度的數(shù)倍以上。

目前鋰離子電池的能量密度已經(jīng)越來越不能滿足其在電動汽車、智能手機和大規(guī)模儲能方面的應(yīng)用。鋰離子電池的能量密度低主要是因為所采用的正負極材料的比容量較低，尤其是負極材料石墨，其理論比容量為 372 mAh/g。目前研究最多的、最具有商業(yè)化前景的負極材料為硅基負極材料，其理論比容量為 4200 mAh/g，是石墨的十倍以上。據(jù)招商證券預(yù)計，硅基負極材料在 2020 年的市場使用量接近于 5 萬噸，銷售額接近于 50 億。 然而硅基材料在充放電過程中較大的體積變化率（>300%）限制了其商業(yè)化應(yīng)用，較大的體積變化導(dǎo)致極片碎裂以及電解液在材料表面持續(xù)分解，從而造成其循環(huán)性能劇烈下降。另外，硅基材料為半導(dǎo)體，其導(dǎo)電性較差，從而導(dǎo)致硅基負極材料的倍率性能較差。如何解決硅基負極材料這兩大缺點是普及硅基材料在鋰離子電池應(yīng)用的關(guān)鍵。 陳永勝教授課題組結(jié)合在納米技術(shù)和石墨烯材料領(lǐng)域的專長，經(jīng)過近 10 幾年的研究，采用低成本的原材料、易工業(yè)化的工藝技術(shù)制備了石墨烯包覆的硅基負極材料，主要技術(shù)創(chuàng)新點包括：1）采用獨特的、具有自主知識產(chǎn)權(quán)的納米技術(shù)將大粒徑的硅粉進行納米化處理，納米化大大緩解了硅在充放電過程中體積變化的問題，從而從根本上解決了硅基負極材料循環(huán)性能差的問題；2）石墨烯包覆則充分發(fā)揮了石墨烯導(dǎo)電導(dǎo)熱性能好、機械性能優(yōu)異、電化學(xué)性能穩(wěn)定等特點，改善了材料的鋰離子擴散性能和電子導(dǎo)電性，大大提高了功率特性； 14隔絕了硅與電解液的直接接觸，抑制副反應(yīng)造成的電解液分解和材料侵蝕，提高了首次效率，延緩了使用過程中的壽命衰減；進一步減緩了充放電過程中硅的體積變化，維持材料結(jié)構(gòu)的整體穩(wěn)定性，極大地提升了循環(huán)特性。