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集成電路產(chǎn)業(yè)需要大量高端薄膜生長設(shè)備，上個(gè)世紀(jì)80年代，MBE作為一種尖端技術(shù)，國外就對中國進(jìn)行了技術(shù)封鎖，禁運(yùn)中國。甚至在今天，MBE仍然屬于美國對中國出口的管制類產(chǎn)品，每一臺(tái)都要經(jīng)過復(fù)雜的審批過程。

眾所周知，化學(xué)藥物和有機(jī)消毒劑的大量使用極易導(dǎo)致細(xì)菌和病毒的變異，并造成嚴(yán)重的后果，如0-157大腸桿菌、瘋牛病、SARS、禽流感等微生物事件的發(fā)生，使人們對生態(tài)環(huán)境和微生物環(huán)境的惡化給地球和人類健康帶來的危險(xiǎn)表示擔(dān)憂，安全無毒的無機(jī)抗菌材料已成為人們的迫切需要。本項(xiàng)目的任務(wù)是：利用具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的氧化鋅晶須（簡寫為：ZnOw）制備技術(shù)，并在前期研究工作的基礎(chǔ)上，對ZnOw、納米材料進(jìn)行抗菌活性處理，將ZnOw與多種納米材料復(fù)合，制備一種安全、持久、高效、廣譜的抗菌殺菌材料。

"專門針對實(shí)驗(yàn)室對小樣品的生長需求，設(shè)計(jì)小型緊湊的生長腔室、樣品臺(tái)，同時(shí)降低購買價(jià)格與運(yùn)行成本。 ? 緊湊的生長腔室 （內(nèi)徑 ~ 300 mm）：內(nèi)表面積小，更容易實(shí)現(xiàn)超高真空，整體占地面積不到1㎡。 ? 電子束加熱的小樣品臺(tái)：定向加熱，降低了傳統(tǒng)燈絲熱輻射加熱的耗散，保證了較低的環(huán)境溫度，對真空有利。同時(shí)加熱速率很快。 ? 30多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口：可擴(kuò)展性好。 ? 小樣品托（18 *12 mm）：剛好適合10 mm左右樣品，同時(shí)兼容ARPES，STM等標(biāo)準(zhǔn)樣品托。"

1、制備設(shè)備技術(shù)先進(jìn)： 多弧離子鍍設(shè)備加裝脈沖磁控后實(shí)現(xiàn)了對等離子體的約束與控制，從而制 備的涂層物理性能更好，并實(shí)現(xiàn)了 Ti/TiNX/TiC1-xNx/TiC、 Cr/ CrNX/ CrC1-xNx/ CrC 薄膜顏色可調(diào)，實(shí)驗(yàn)證明此工藝制備的涂層表面更加光潔、硬度更大，效 率更高。脈沖電源、磁系統(tǒng)和 PLC 控制系統(tǒng)均為課題組自行開發(fā)，具有設(shè)備技 術(shù)創(chuàng)新，此項(xiàng)工作在國內(nèi)領(lǐng)先。 2. 涂層設(shè)計(jì)理念合理 用脈沖磁控多弧離子鍍制備 Ti/TiNX/TiN、Ti/TiNX/TiC1-xNx/TiC、Cr/Cr NX/ CrC1-xNx/ CrC、Cr/CrN/CrAlSiN 梯度復(fù)合薄膜。本方案通過優(yōu)化膜系和制備工 藝參數(shù)，可以有效緩解應(yīng)力，提高涂層在基底上的附著力，此項(xiàng)研究具有薄膜 材料設(shè)計(jì)創(chuàng)新，具有國內(nèi)先進(jìn)水平。由于梯度復(fù)合薄膜制備參數(shù)變化多，工藝 參數(shù)實(shí)現(xiàn)了 PLC 控制，生產(chǎn)效率和重復(fù)性大大提高。 3. 綠色環(huán)保無污染 由于真空鍍膜工藝無污染，且制備的薄膜質(zhì)量好，此工藝代替高污染的電 鍍工藝，是綠色環(huán)保產(chǎn)業(yè)，符合國家提倡主導(dǎo)的產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向 4. 制備開發(fā) DLC 薄膜 利用線性離子源發(fā)電技術(shù)制備了 DLC（Diamond like carbon）薄膜，此薄 膜制備工藝國內(nèi)領(lǐng)先，具有沉積溫度低、薄膜質(zhì)量好特點(diǎn)，可用于醫(yī)療器械和 各種機(jī)械配件鍍膜等，其制備方法重復(fù)性好、襯底溫度低等特點(diǎn)。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹南京金牛高速分析儀器有限公司專業(yè)制造各類鋼鐵成分分析儀器,鑄造生鐵化驗(yàn)儀,球鐵分析儀器,有色金屬分析儀器，多元素分析儀器，高頻紅外碳硫分析儀器，電腦碳硫分析儀，三元素分析儀，五大元素分析儀等高速分析儀器，產(chǎn)品高、中、低檔齊全。可測定工業(yè)材料中碳、硫、錳、磷、硅、鎳、鉻、鉬、銅、鈦、稀土總量、鎂等元素。儀器測量范圍廣、精度高， ISO9001：2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證企業(yè)，是南京市計(jì)量監(jiān)督檢測院“抽檢合格企業(yè)”，被評為“南京市重合同守信用企業(yè)”， “金牛”商標(biāo)被評為“南京市著名商標(biāo)”，產(chǎn)品榮獲“南京市名牌產(chǎn)品”稱號。主要技術(shù)指標(biāo)：測量范圍：碳：0.02％～12.8％（需改變稱樣量）  硫：0.001％～3.00％測量時(shí)間：碳硫45秒左右（不含稱樣、取樣時(shí)間）分析方法：光電比色分析法量程范圍：吸光度值0～1.999A、濃度值0～99.99％測量精度：符合GB/T223.69-97  GB/T223.68-97   GB223.3－5.88標(biāo)準(zhǔn)可測元素：碳、硫、錳、磷、硅、鎳、鉬、鉻、鈦、銅、鉛、鋅、鐵、鋁、鎂、稀土、鈮、釩等元素的分析 電源電壓：220V±10％　50Hz碳硫分析儀主要特點(diǎn)：氣體容量法測碳（液體吸收，可長期使用，不需更換）、碘量法定硫；碳硫檢測均全自動(dòng)檢測；進(jìn)口精密傳感器檢測數(shù)據(jù)，測量結(jié)果液晶屏顯示，測試報(bào)告自動(dòng)打印；標(biāo)樣參數(shù)掉電自動(dòng)保存，隨時(shí)調(diào)用，采用19264大屏幕藍(lán)底LCD顯示，顯示直觀，顯示內(nèi)容豐富；采用高性能單片機(jī)控制，CPLD技術(shù)，抗干擾能力強(qiáng)，可靠性高，全部功能單鍵操作，方便快捷；連接電子天平可進(jìn)行不定量稱樣，提高了分析檢測速度；可選擇鋼鐵，一次，二次吸收，具有日期打印功能。操作簡單，維護(hù)方便，快捷。元素分析儀主要特點(diǎn)：零點(diǎn)、滿度均可自動(dòng)跟蹤，無需準(zhǔn)確調(diào)整，直讀吸光度或百分比含量，自動(dòng)打印結(jié)果，包括爐號、日期、濃度百分含量；采用單片機(jī)控制電路，可儲(chǔ)存15條曲線；采用精密觸摸式鍵盤，32鍵音響提示，操作簡單、適用、穩(wěn)定性好；更換不同的冷光源或?yàn)V光片，可擴(kuò)大測量元素的種類和含量范圍；采用先進(jìn)的光電轉(zhuǎn)換技術(shù)，適用于各種金屬材料化驗(yàn)。金牛儀器服務(wù)承諾：1、所售化驗(yàn)儀器三包一年，終身服務(wù)，產(chǎn)品售后服務(wù)熱線電話24小時(shí)開通，定期回訪客戶； 2、免費(fèi)為客戶安裝、調(diào)試、代辦托運(yùn)化驗(yàn)儀器 ；3、免費(fèi)培訓(xùn)化驗(yàn)人員，現(xiàn)場培訓(xùn)或來公司培訓(xùn)均可；4、提供材料分析工藝，代辦化驗(yàn)儀器配套理化檢測設(shè)備和配件；協(xié)助籌建化驗(yàn)室 5、常年提供化驗(yàn)儀器所需各種配件(特制硅鉬粉、純錫粒、各種標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、玻璃器皿、分析天平、添加劑等儀器所需的各種配件)。http://www.jnfxyq.com

一種用于預(yù)測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預(yù)測方法 一、項(xiàng)目分類 顯著效益成果轉(zhuǎn)化 二、成果簡介 現(xiàn)有物理氣相沉積（PVD）制備多元薄膜材料采用合金靶材作為靶源，生產(chǎn)過程中，薄膜成分的調(diào)控范圍受安裝的合金靶材的成分比例的限制。如果預(yù)期獲得納微復(fù)雜結(jié)構(gòu)的復(fù)合薄膜，按照常規(guī)技術(shù)路線需要上百塊成分連續(xù)變化的合金靶材，這顯然是無法實(shí)現(xiàn)的。同時(shí)，采用合金靶材制備某些多元薄膜時(shí)，需要特高純度的或極端成分比例的靶材作為靶源，這類特殊靶材以現(xiàn)有技術(shù)難以制造。 為此，本發(fā)明研發(fā)出一種用于預(yù)測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預(yù)測方法，利用本發(fā)明技術(shù)有助于新材料的研發(fā)和促進(jìn)半導(dǎo)體器件、切削刀具涂層等高新技術(shù)的發(fā)展。

銅銦鎵硒CIGS是由銅、銦、鎵、硒等金屬元素組成的直接帶隙化合物半導(dǎo)體材料，其對可見光的吸收系數(shù)為所有薄膜電池材料中最高(104-105cm-1)。目前CIGS電池的光電轉(zhuǎn)化效率是各種薄膜太陽能電池之首(19.9％)，接近于市場主流產(chǎn)品晶體硅太陽能電池轉(zhuǎn)換效率，而成本卻是其1/3。與高效率高成本的晶體硅太陽能電池和低效率低成本的非晶硅薄膜太陽能電池相比，CIGS薄膜太陽能電池以其性能穩(wěn)定、抗輻射能力強(qiáng)、光電轉(zhuǎn)換效率高等優(yōu)勢被國際上稱為相當(dāng)具有潛力和下一代廉價(jià)的太陽能電池，已成為光伏領(lǐng)域

根據(jù)多層膜光學(xué)干涉的原理，當(dāng)光線照射到薄膜，在進(jìn)入各膜層時(shí)由于各膜層的光 學(xué)性質(zhì)不一樣使得有些光相干相長，有些光相干相消，隨著觀察者視角的變化薄膜呈現(xiàn) 不同的顏色。早在 1973 年加拿大國家研究院的 J.A.Dob-railski 等人就預(yù)見了變色薄 膜在防偽領(lǐng)域中的應(yīng)用前景，并于 1987 年首次應(yīng)用于 50 圓的貨幣上。稍后美國人也研 制出有金色變到綠色的全介質(zhì)變色薄膜。再以后又有人與瑞士 SICPA 公司合作將變色薄 膜作為顏料摻入到油墨中，研制成光變色油墨。現(xiàn)在許多國家的護(hù)照、簽證和貨幣上都 用上了光變色油墨。 光變色薄膜的光變色功能來自于多層膜的復(fù)合特性，光變色效果與組成該薄膜的各 膜層的材料性質(zhì)、厚度以及膜層之間的組合有關(guān)。薄膜多采用金屬膜與金屬氧化物介質(zhì) 組合，用物理方法（如熱蒸發(fā)、電子束或離子鍍、磁控濺射等）鍍制薄膜。金屬氧化物 介質(zhì)膜用物理方法鍍制質(zhì)量控制比較困難，效率低，成本也比較高。同濟(jì)大學(xué)課題組用 氣凝膠或有機(jī)材料替代金屬氧化物，材料性能穩(wěn)定，可進(jìn)行大面積快速涂膜，效率大大 提高，成本也很低。