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本發明公開了一種多元物質原子層沉積膜制備方法和裝置，所 述方法，即使基片相對于原子層沉積反應腔直線運動，依次通過其內 用于完成不同原子層沉積的原子層沉積系統，基片通過每個原子層沉 積系統時：調整基片溫度為相應原子層沉積反應最適溫度。所述裝置， 包括原子層沉積反應腔、基片承載臺、運動平臺和溫度控制裝置；原 子層沉積反應腔依次設置有多個原子層沉積系統；基片承載臺，設置 在原子層沉積反應腔下方；運動平臺，與基片承載臺連接，帶動基片 承載臺運動；溫度控制裝置，設置在基片承載臺下方。所述方法能高 效快速的制備多元物質原子層沉積膜，所述裝置，能方便的通過現有 原子層沉積系統組裝，兼容性強，功耗低，沉積效率高。 

主要技術指標：防滲墻深度： 20m；防滲墻壁厚： 10～25 cm；質量要求：墻體骨料為水泥砂漿， 摻入適量粉煤灰； 墻體抗壓強度 ≥3.0mpa； 滲透系數 ≦ A×10-6cm/s。

本發明公開了一種用于制作原子層沉積膜的可拆卸噴頭及裝置。用于制作原子層沉積膜的噴頭，包括進氣管路、進氣口和出氣口；所述進氣口內部為空腔；所述出氣口內部形成空腔，分為上半部分和下半部分，其上半部分與下半部分之間設有漏斗形結構；進氣管路與進氣口固定連接，進氣口與出氣口可拆卸密閉連接。用于制作原子層沉積膜的裝置，包括所述噴頭、腔體支撐架、基片承載臺和運動平臺，腔體支撐架中間形成長條狀鏤空，可順序設置多個可拆卸噴頭，基片承載臺設置在墻體支撐架下方，運動平臺帶動基片承載臺。本發明能適應不同的原子層沉積反應，通

本發明公開了一種中深層地熱井沉管裝置，放置在地熱井外套管管內的底部，包括上段、中段和下段，上段由內套管組成，中段由金屬膨脹節、非金屬膨脹節和固定沉管組成，下段由依次相連的活動沉管和導向頭組成?；顒映凉芘c固定沉管通過管內外凸臺相連，活動沉管底部與導向頭相連，固定沉管為中空結構，夾層內填充二硒化鎢，活動沉管表面覆蓋二硒化鎢薄膜涂層，周向從上到下開設多層孔徑遞增的射流孔，導向頭內側裝有螺旋狀肋片。本發明通過夾層和涂層填涂低導熱系數材料方式降低了金屬沉管的傳熱短路程度，又通過固定和活動沉管的活動連接方式減少底部死區范圍，大大提高了換熱井的出力。

成果創新點 主要技術創新路徑（如涉及技術秘密，可簡略描述）： 利用多反射腔將原子磁力儀小型化的同時將檢測靈敏 度提高一個量級，最終好于 50 fT/Hz1/2。引入微納加工手 段，將產品標準化，從而可進行批量化生產。可進一步應 用于原子陀螺。 技術成熟度 關鍵技術研發階段 市場前景 1.與醫院合作用于生物磁場測量和可移動式磁成像； 2.共磁力儀用于慣性測量。

主要技術創新路徑（如涉及技術秘密，可簡略描述）： 利用多反射腔將原子磁力儀小型化的同時將檢測靈敏度提高一個量級，最終好于 50 fT/Hz1/2。引入微納加工手段，將產品標準化，從而可進行批量化生產。

近年來，單層、雙層鋼殼混凝土沉管隧道技術在“珠港澳跨海通道”、“深中通道”等重大工程中的成功應用進一步提升了我國沉管隧道建設水平。由于鋼殼混凝土沉管隧道能夠克服鋼筋混凝土結構的開裂問題，在滿足高水壓、大斷面、極限凈跨大、耐久性強要求下，較好地解決了不均勻沉降問題。但鋼殼混凝土沉管隧道有其自身的局限性，其中最為突出的是混凝土難以充填密實鋼殼，出現脫空或空洞缺陷問題，為水壓下鋼板里襯變形失穩破壞的埋下重大安全隱患。因此，亟需一種無損、快速、定量化的脫空缺陷檢測技術。       中子源發射出的快中子射線與被測介質的原子核發生碰撞后，會被慢化減速形成熱中子在中子源附近形成散射?？熘凶优c物質作用時，其對原子序數大的物質有十分強的穿透能力，但卻容易被原子序數小的元素減速和慢化而形成熱中子，而由于氫元素原子序數最小，因此快中子在與氫原子多次碰撞后極易變成熱中子。熱中子同樣對除水以外的其他物質的反應截面較小，散射的熱中子極易穿過被檢測鋼管混凝土結構而被探測到。因此，中子檢測技術在沉管隧道中鋼殼底部的混凝土脫空探查和表征方面有重要的應用價值。

本發明公開了一種能提高原子束流量密度的原子發生器，包括 真空法蘭、氣路組件、加熱裝置和隔熱冷卻裝置，氣路組件包括供氣 源、真空微調閥、氣體引入法蘭、供氣管、陶瓷套和鎢毛細管;加熱 裝置包括直流穩壓電源、電引入法蘭和鎢加熱子;隔熱冷卻裝置包括 冷卻水引入法蘭、銅套、鉬隔熱層和冷卻塊，銅套上設置有冷卻水道， 鉬隔熱層的下端設置有作為原子束出口的第一圓孔，銅套上設置有作 為原子束出口的第二圓孔，并且所述鎢毛細管、第一圓孔、第二圓孔 的軸線重合。本發明出口處原子角度分布上，小極角范圍內的原子流 量密度得到增

可以量產/n小型銣原子頻率標準是量子學與電子學結合的產物，能夠將原子躍遷頻率高精度的準確性與穩定性傳遞出來，轉化為高端儀器設備需要的射頻頻率信號，適合通信、電力、金融、醫療等領域的應用，通過與北斗/GPS組合實現廣域空間內的高精度時間同步及組網應用，同時具備較高的性能指標和性價比。市場預期：小型銣原子頻標的民用方向主要集中在通信及電力領域，主要針對下一代5G通信及智能電網，目前4G通信對銣鐘的需求在2000～3000套/年，隨著5G的推廣，用量會增加10～30倍；智能電網的建設在全國220kV及以上

1.產品介紹 AA-1800EL型原子吸收光譜儀是采用國際新的技術和國內高校的專家聯手研發完成，擁有幾十年光譜儀器的研發和應用經驗。該產品包括火焰、石墨爐及氫化物發生系統，可配置多種附件，靈活的配置方案可滿足不同層次客戶的需求。全自動多功能AA-1800EL型原子吸收光譜儀可進行復雜的樣品分析，多種分析方法可自動切換，做到無人全自動分析。 AA-1800EL型原子吸收光譜儀廣泛應用于科研、質檢、疾控、環保、冶金、農林、化工等行業，創新的軟、硬件設計確保樣品分析的準確性、安全性、易用性，儀器維護簡單便捷。 2. 性能特點 2.1. 全反射消色差光學系統。 色散率為1800條/毫米刻線大面積光柵，新型自準直單色器，所有鏡片均是石英鍍膜，寬廣的檢測范圍和光學穩定性確保了分析的精度、閃耀波長230nm光柵分光系統。 2.2. 八燈燈座 一燈工作，最多可以七燈預熱，節省了換燈和預熱時間，使元素測量更加快捷方便。 2.3. 全自動化 儀器采用全自動設計，除主機電源開關外，儀器的燈架控制、波長掃描、狹縫調節以及二維移動平臺等功能全部通過軟件控制完成。 2.4. 背景校正系統 具備氘燈與自吸收兩種背景校正模式，背景信號1A時，扣背景能力60倍以上。 2.5. 自主知識產權，功能完善，性能強大的分析軟件 人性化的操作界面，讓您的操作易如反掌，可切換中英文Windows風格軟件界面，全自動定性、定量分析，自動計算元素含量，自動生成測試報告。 2.6. 火焰系統特點 2.6.1. 高分子霧化室 高分子材料抗腐蝕霧化室，耐酸堿，包括氫氟酸，無論是有機或是無機溶液都能得到較好的靈敏度和穩定性； 2.6.2. 鈦燃燒器 鈦燃燒器，可選配50mm和100mm燃燒器，空冷預混合型，耐腐蝕，耐高鹽，大幅度提高火焰的效率和火焰分析的準確度； 2.6.3. 高精度防堵塞霧化器。 高效型霧化器，霧化效率高，維護更換方便。 2.6.4. 質量流量控制器實現乙炔流量控制。 質量流量控制器精確控制乙炔流量，精度達1ml/min，并對流量進行動態監測，使用方便，安全可靠。 2.6.5. 更多的安全保護措施，使樣品分析更加安全可靠。 采用高靈敏度探測器，對乙炔泄露進行實時監測； 采用高精度的壓力傳感器，對乙炔壓力進行實時監視； 采用高精度的壓力傳感器，對乙炔壓力進行空氣壓力監視； 采用微動開關及防火插銷，對燃燒頭狀態監視； 采用光敏二極管，對火焰狀態實時監視； 2.7. 石墨爐系統特點 2.7.1. 一體化設計。 石墨爐電源、原子吸收主機位于一臺儀器內，縮短了電纜長度，減少了石墨爐電源對外界的電磁干擾、提高了石墨管加熱效率。 2.7.2. 石墨爐控溫精度高，升溫速度快。 采用大功率變壓器、微阻電纜線以及光控升溫方式，并配合軟件、硬件溫度校正系統，高溫段控溫精度可達±1%。 2.7.3. 更多的安全保護措施，使樣品分析更加安全可靠。 石墨爐冷卻水具有流量實時監視和保護； 2.7.4. 通過壓力傳感器對載氣壓力監視 通過光敏二極管對石墨爐溫度監視 2.7.5. 自動載氣流量控制。 石墨爐內氣，外氣全部由計算機根據軟件升溫流程自動控制。 2.7.6. 150位轉盤式石墨爐自動進樣器。 極坐標轉盤式石墨爐自動進樣器，定位精度高，運行穩定可靠，使用維護方便。 3. 數據處理 高智能軟件，功能強大，友好的中文操作界面。全自動儀器及附加控制，火焰、石墨爐工作模式可自動切換，可自動優化，自動稀釋；鼠標操作，自動設定菜單數據和校正方法； 石墨爐分析時，系統會給出全過程分析信息，包括測量值、溫度、程序、時間等， 并保存積分時間內所有測量的信號曲線和溫度曲線；測量數據可以實現動態顯示。標準曲線可以實現自動擬和；樣品測量準確：采用向導的方式對樣品進行設置，方便快捷；靈敏度校正功能：使測量的結果更為準確；參數打印，數據結果打印，圖形打印，可導出WORD、EXCEL文檔.