|
搜索
搜 索
高等教育領(lǐng)域數(shù)字化綜合服務(wù)平臺(tái)
.jpg){kind=logo}
一種基于SOI封裝的六軸微慣性器件及其加工方法
本發(fā)明公開(kāi)了一種基于SOI封裝的六軸微慣性器件，包括單片集成的六軸微慣性器件、玻璃襯底、金屬電極、金屬引線、SOI蓋帽和SOI密封墻；六軸微慣性器件通過(guò)陽(yáng)極鍵合工藝鍵合在玻璃襯底上；金屬電極為一個(gè)以上，均勻設(shè)置在玻璃襯底一側(cè)，金屬電極通過(guò)金屬引線與六軸微慣性器件相接，SOI蓋帽設(shè)在玻璃襯底正上方，SOI密封腔設(shè)在SOI蓋帽和SOI密封墻之間，形成空腔結(jié)構(gòu)；每個(gè)金屬電極正上方的SOI蓋帽上設(shè)有梯形電極孔，梯形電極孔正下方的SOI密封墻上設(shè)有垂直貫通；梯形電極孔、垂直貫通與金屬電極一一對(duì)應(yīng)。本發(fā)明具有全解耦、質(zhì)量小、結(jié)構(gòu)精巧、成本低和便于批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)，在單個(gè)器件內(nèi)同時(shí)實(shí)現(xiàn)了對(duì)三軸的加速度和角速度的檢測(cè)，應(yīng)用范圍廣，有著良好的市場(chǎng)前景。
東南大學(xué)
2021-04-11
.jpg){kind=logo}
超快高儲(chǔ)能柔性器件
本項(xiàng)目以制備超快高儲(chǔ)能柔性器件為導(dǎo)向，建立基于界面納米復(fù)合材料的新技術(shù)。通過(guò)水熱法和電化學(xué)方法在柔性導(dǎo)電基底上構(gòu)建納米陣列/金摻雜二氧化錳的三維納米復(fù)合電極，作為正極；通過(guò)水熱法和熱處理法在柔性導(dǎo)電基底上生長(zhǎng)多孔氧化鐵納米復(fù)合材料，作為負(fù)極，組裝全固態(tài)薄膜器件。利用納米復(fù)合材料的多方面優(yōu)勢(shì)加速電子/離子在活性材料中的傳遞，進(jìn)而達(dá)到超快高儲(chǔ)能的目的。基于納米復(fù)合材料的全固態(tài)薄膜器件可展現(xiàn)出超快充電能力（10 V/s），比常規(guī)電容器的充電時(shí)間快10-100倍。這是國(guó)際上基于金屬氧化物贗電容薄膜型超級(jí)電容器研究領(lǐng)域的一個(gè)重大突破。此外，本項(xiàng)目以開(kāi)發(fā)超快超柔儲(chǔ)能器件為導(dǎo)向，開(kāi)發(fā)了一種熱力學(xué)誘導(dǎo)自發(fā)組裝和原位摻雜結(jié)合碳熱還原的方法來(lái)實(shí)現(xiàn)石墨烯納米篩粉體和薄膜的宏觀可控制備，解決了傳統(tǒng)石墨烯材料縱向物質(zhì)傳輸差的局限。通過(guò)控制碳熱溫度，可以調(diào)節(jié)石墨烯納米篩表面的孔密度，即孔徑大小可控（10~100 nm）。與傳統(tǒng)石墨烯薄膜電極相比，石墨烯納米篩表面豐富的孔結(jié)構(gòu)使得其作為電極材料時(shí)擁有更大的比表面積，而且電解質(zhì)離子可以在垂直于平面的軸向上傳遞，縮短了離子傳輸路徑。
華中科技大學(xué)
2021-04-10
科學(xué)技術(shù)大學(xué).jpg){kind=logo}
光學(xué)微腔器件
成果創(chuàng)新點(diǎn) 1.在光學(xué)微腔器件的晶體腔加工、PPLN 微腔加工、微 腔耦合與封裝、微腔超高 Q 值檢測(cè)方面，分別提出了先進(jìn) 而完善的實(shí)施方案，并申請(qǐng)了相關(guān)發(fā)明專(zhuān)利。現(xiàn)有晶體微 腔 Q 值國(guó)內(nèi)最高水平 106，國(guó)外達(dá)到 109，本項(xiàng)目可優(yōu)于 108， 從而達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，國(guó)際先進(jìn)水平。 2.在光學(xué)微腔器件應(yīng)用方面，研發(fā)例如超窄線寬激光 器（精密測(cè)量、物理量精密傳感）、超窄線寬濾波器（激 光技術(shù)
中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)
2021-04-14
光學(xué)微腔器件
1.在光學(xué)微腔器件的晶體腔加工、PPLN 微腔加工、微腔耦合與封裝、微腔超高 Q 值檢測(cè)方面，分別提出了先進(jìn)而完善的實(shí)施方案，并申請(qǐng)了相關(guān)發(fā)明專(zhuān)利。現(xiàn)有晶體微腔 Q 值國(guó)內(nèi)最高水平 106，國(guó)外達(dá)到 109，本項(xiàng)目可優(yōu)于 108，從而達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，國(guó)際先進(jìn)水平。
2.在光學(xué)微腔器件應(yīng)用方面，研發(fā)例如超窄線寬激光器（精密測(cè)量、物理量精密傳感）、超窄線寬濾波器（激光技術(shù)）等小型化器件的技術(shù)原理和實(shí)現(xiàn)方案。與常規(guī)產(chǎn)品相比，體積可縮小至 500 立方厘米以下，精度可提高 2個(gè)量級(jí)，成本可下降 80%。成果可實(shí)現(xiàn)的光學(xué)微腔器件主要指標(biāo)：研制出光學(xué)晶體微腔，Q 值優(yōu)于 108，根據(jù)用戶(hù)要求研制小型化應(yīng)用模塊。
中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)
2023-05-17
DMD數(shù)字微鏡器件
西安中科微星光電科技有限公司
2022-06-27
.jpg){kind=logo}
微納光學(xué)器件及系統(tǒng)
光刻二維碼技術(shù)： 納米光學(xué)二維碼產(chǎn)品是將光學(xué)防偽技術(shù)和手機(jī)、互聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用有機(jī)結(jié)合，開(kāi)發(fā)出的新一代產(chǎn)品，并開(kāi)發(fā)出相關(guān)的可追溯系統(tǒng)，形成“一站式”的防偽服務(wù)。
上海理工大學(xué)
2021-04-13
一種微環(huán)波導(dǎo)器件
本發(fā)明公開(kāi)了一種微環(huán)波導(dǎo)器件，包括微環(huán)諧振腔、直波導(dǎo)、第一支架、第二支架和襯底；其中，第一支架用于支撐直波導(dǎo)，第二支架用于支撐微環(huán)諧振腔，以使微環(huán)諧振腔與直波導(dǎo)懸空；微環(huán)諧振腔與直波導(dǎo)相互耦合；外部注入的光場(chǎng)通過(guò)直波導(dǎo)耦合進(jìn)入微環(huán)諧振腔中，滿(mǎn)足微環(huán)諧振條件的光場(chǎng)在微環(huán)諧振腔中激發(fā)出聲場(chǎng)，通過(guò)懸空的微環(huán)諧振腔將產(chǎn)生的聲場(chǎng)限制在微環(huán)諧振腔中進(jìn)行傳輸，進(jìn)而產(chǎn)生前向布里淵效應(yīng)；本發(fā)明提供的這種懸空的微環(huán)波導(dǎo)器件具有布里
華中科技大學(xué)
2021-04-14
.jpg){kind=logo}
微納米光纖及其相關(guān)新型器件
微納米光纖，具有一系列獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)：大的消逝場(chǎng)；高的非線性，極低的損耗；容易彎曲成環(huán)等不同的幾何形狀。我校在本應(yīng)用領(lǐng)域主要研究選擇合適的光纖材料和介質(zhì)棒材料，探討微納光纖在生物、通信、傳感和激光等領(lǐng)域的應(yīng)用：優(yōu)化微納光纖探針的設(shè)計(jì)，制備低成本的超短的極低損耗的微納光纖探針用于低功率粒子捕獲；制備基于單環(huán)諧振器的傳感器；制備基于多環(huán)諧振器的應(yīng)用型器件如高靈敏度微傳感器或者可調(diào)諧器件等，探討其它新型的應(yīng)用。理論上主要研究微納光纖諧振器的線性和非線性特性，對(duì)
南京大學(xué)
2021-04-14
.jpg){kind=logo}
微流體脈沖噴射儀及配套微流體器件制備儀
微流體數(shù)字化技術(shù)通過(guò)對(duì)裸結(jié)構(gòu)的微噴嘴實(shí)施脈沖的慣性力，使微量流體在慣性力與黏性力交替作用下實(shí)現(xiàn)微流體的脈沖流動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)數(shù)字化可控的微量流體的噴射，適用于液體微噴射、粉體微噴射等領(lǐng)域。 成熟度：基于非晶態(tài)玻璃材料毛細(xì)加工原理，進(jìn)行了拉制、鍛制、殘余應(yīng)力熱處理等工序研究，制作了出微納米級(jí)的微噴嘴、微管道。以玻璃微噴嘴制備儀為平臺(tái)研究了不同拉制參數(shù)、鍛制參數(shù)對(duì)微噴嘴幾何形狀的影響規(guī)律。基于微流體脈沖驅(qū)動(dòng)-控制技術(shù)，分別采用拉制、鍛制的微噴嘴穩(wěn)定地制備了均一的微液滴。 微流體
南京理工大學(xué)
2021-04-14
一種六自由度微振動(dòng)抑制平臺(tái)及其控制方法
本發(fā)明的六自由度微振動(dòng)抑制平臺(tái)，包括基礎(chǔ)平臺(tái)、負(fù)載平臺(tái)、 完全相同的六套單自由度主被動(dòng)復(fù)合隔振裝置以及控制器，每套單自 由度主被動(dòng)復(fù)合隔振裝置上下兩端分別與負(fù)載平臺(tái)和基礎(chǔ)平臺(tái)連接。 本發(fā)明的控制方法，包括計(jì)算邏輯軸信號(hào)、計(jì)算邏輯軸控制信號(hào)、計(jì) 算物理軸實(shí)時(shí)控制信號(hào)和傳遞步驟。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，剛度可調(diào)，能 夠?qū)?nbsp;X 軸、Y 軸、Z 軸的平動(dòng)方向及轉(zhuǎn)動(dòng)方向的六自由度微振動(dòng)進(jìn)行 抑制和隔離，能夠適合不同的場(chǎng)合，可以有效的衰減不同頻段的微振 動(dòng)，為微振動(dòng)環(huán)境下的精密加
華中科技大學(xué)
2021-04-14