TCS208F 氣體熱導(dǎo)分析儀
                                        
                                            
              產(chǎn)品詳細(xì)介紹 
TCS208F采用先進(jìn)的MEMS加工技術(shù)生產(chǎn),利用被測組份和參考?xì)怏w的熱導(dǎo)系數(shù)不同而響應(yīng)的濃度型傳感器。產(chǎn)品具有檢測范圍大、可靠性高、安裝方便、維護(hù)簡單等優(yōu)點。可廣泛應(yīng)用于天然氣,CH4、H2,CO2,CO,SF6,Xe,He,NH3等氣體成份檢測,也可用于測量非常小的氣體容積變化。
測量精度高                             
靈敏度高                               
集成溫度補償,漂移小                   
體積小,響應(yīng)速度快                     
可以測量微小的氣體容量                 
高性價比                               
TO8封裝,抗沖擊能力強
                                    
詳細(xì)介紹:
1.       最大限值                             
    
        
            
             
            
            
            最小
            
            
            典型
            
            
            最大
            
            
            單位
            
        
        
            
            熱功率P(Rm1+Rm2):
            
            
            —
            
            
            —
            
            
            30
            
            
            mW
            
        
        
            
            測量溫度Tm
            
            
            —
            
            
            —
            
            
            180
            
            
            °C
            
        
        
            
            環(huán)境溫度
            
            
            -20
            
            
            —
            
            
            +85
            
            
            °C
            
        
        
            
            氣體壓力(1)
            
            
            —
            
            
            —
            
            
            200
            
            
            bar
            
        
    
注:由于膜的熱時間常數(shù)短,短時間的加過高的熱功率會毀壞傳感器。
2.       參數(shù)說明:
    
        
            
             
             
            
            
            最小
            
            
            典型
            
            
            最大
            
            
            單位
            
        
        
            
            電阻,Rm1,Rm2(Tm=25°C)
            
            
            92
            
            
            100
            
            
            115
            
            
            ?
            
        
        
            
            電阻,Rt1,Rt2
            
            
            220
            
            
            240
            
            
            275
            
            
            ?
            
        
        
            
            商,Rtx / ( Rm1+Rm2 ),x∈{1,2}
            
            
            1.13
            
            
            1.2
            
            
            1.27
            
            
            1
            
        
        
            
            阻抗差,Rm1 - Rm2
            
            
            -2.0
            
            
            —
            
            
            +2.0
            
            
            ?
            
        
        
            
            α=溫度系數(shù),( Rm, Rt ) | 20 - 100°C
            
            
            4.8(2)
            
            
            5.5
            
            
            5.9
            
            
            10-3·K-1
            
        
        
            
            G =幾何系數(shù)(3)
            
            
            —
            
            
            3.6
            
            
            —
            
            
            mm
            
        
        
            
            τm =膜的熱時間常數(shù)
            
            
            —
            
            
            <5
            
            
            —
            
            
            ms
            
        
        
            
            τdiffusion =氣體交換的時間常數(shù)
            
            
            —
            
            
            <100
            
            
            —
            
            
            ms
            
        
        
            
            漂移( Rxy ) | x∈{m,t} ; y∈{1,2}
            
            
            —
            
            
            0.001
            
            
            0.01
            
            
            %/week
            
        
        
            
            散射結(jié)構(gòu)的體積
            
            
            —
            
            
            0.2
            
            
            —
            
            
            mm3
            
        
        
            
            保持干凈的周圍環(huán)境空間大小
            
            
            —
            
            
            100
            
            
            —
            
            
            mm3
            
        
        
            
            基礎(chǔ)材料
            
            
            硅,采用蝕刻技術(shù)獲得微觀結(jié)構(gòu)
            
        
        
            
            尺寸結(jié)構(gòu): 包括底座
                     不包括底座
            
            
            3mm × 3mm × 1mm
            
        
        
            
            13mm ? × 15.4mm
            
        
        
            
            暴露在空氣中的材料
            
            
            Si, SiOxNy, 金, 環(huán)氧材料
            
        
    
注釋: (1) 根據(jù)供應(yīng)商的說明書對于適當(dāng)?shù)脑O(shè)備提供的壓力參數(shù)
(2) α的最小值只適用于與低規(guī)格電壓輔助源結(jié)合的情況. 產(chǎn)品會不斷的改良使它更接近于DIN 43760的規(guī)格.
(3) 因數(shù)G是由內(nèi)部的傳感器的機構(gòu)決定的.
傳感器的機械測試:
振動: 符合IEC 68-2-6 附錄B (1982) 10圈,±1.5mm; 20g; 10..2000Hz; 1階/分鐘
沖擊: 符合IEC 68-2-27 修正#1 (82年10月),徑向和軸向各10次, 100g; 7.5ms / 300g; 2.5ms / 900g; 1.2ms. 
                                        
                                        
                                            上海維逸測控技術(shù)有限公司
                                            2021-08-23