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一種石英/玻璃材料表明的微米加工方法

2016-10-20 00:00:00
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關(guān)鍵詞: 微米加工
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所屬領(lǐng)域:
化學(xué)化工
產(chǎn)品服務(wù):

一種石英、玻璃材料表面的微納米加工方法,其具體作法是:將尖端部為球冠狀的探針安裝在掃描探針顯微鏡上,將被加工的石英或玻璃材料固定在掃描探針顯微鏡的樣品臺(tái)上,啟動(dòng)掃描探針顯微鏡,給探針施加載荷F,該載荷F的值為根據(jù)赫茲接觸公式計(jì)算出的被加工材料表面發(fā)生破壞的理論臨界載荷值Fd0的0.03-0.5倍,并使探針沿著設(shè)定的軌跡在被加工材料表面進(jìn)行刻劃即可在被加工材料表面加工出納米凸起結(jié)構(gòu)。該方法操作簡(jiǎn)單,精度高,重復(fù)性好,可靠性高,且無(wú)污染、環(huán)保。

項(xiàng)目?jī)?yōu)勢(shì):

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