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III-V族半導體合金體系熱、動力學計算機輔助分析系統(tǒng)

2021-04-11 00:00:00
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項目成果/簡介:

III-V族半導體合金體系熱、動力學計算機輔助分析系統(tǒng)建立并完善了含Al-Ga-In-N-P-As-Sb-C-H等多元體系的III-V族合金化合物半導體熱力學數據庫,使之成為當前國際上數據資源相對豐富、可靠程度高的專業(yè)型數據庫。在此基礎上,應用該計算機輔助分析系統(tǒng),可采用統(tǒng)一的成分空間表達方式,將覆蓋四元半導體整個成分空間的光電性能(能量間隙或波長)、與相應襯底匹配的成分條件、以及各種溫度下發(fā)生溶解間隙的成分范圍,投影于一平面,構成III-V族半導體體系綜合優(yōu)化圖,用以對金屬有機物氣相外延工藝進行輔助分析、確定滿足優(yōu)質半導體生長的成分空間、預測外延層半導體的成分等。同時,該系統(tǒng)還發(fā)展了非平衡過程分析研究方法:亞穩(wěn)平衡處理、條件平衡處理和不可逆過程分析處理等,這些方法有助于III-V族半導體液相外延、氣相外延和金屬有機物氣相外延工藝過程的熱力學分析。

該項目面向光電子材料和器件的研制與生產

III-V族半導體合金體系熱、動力學計算機輔助分析系統(tǒng),目前主要是作為應用研究,服務于有關光電子材料和器件的研制與生產過程中工藝條件的輔助設計,以促進III-V族半導體液相外延、氣相外延和金屬有機物氣相外延工藝逐步從經驗設計邁向科學設計,在相關領域的高技術產業(yè)化方面起積極作用。

Al-Ga-In-N-P-As-Sb-C-H等多元體系的III-V族合金化合物半導體熱力學數據庫;瑞典皇家工學院Thermo-Calc相平衡熱力學計算軟件。

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