ZnGeP2晶體的腐蝕劑與腐蝕方法

新材料及其應用

一種ZnGeP2晶體的腐蝕劑，由冰醋酸、氫氟酸、硝酸、碘和純凈水配制而成，冰 醋酸、氫氟酸、硝酸、純凈水的體積比為：冰醋酸∶氫氟酸∶硝酸∶純凈水＝1∶2∶2∶ 1，碘的質量∶冰醋酸體積＝4∶1。一種ZnGeP2晶體的腐蝕方法，使用上述腐蝕劑，工 藝步驟依次為：(1)腐蝕，將ZnGeP2晶片浸入腐蝕劑中，在超聲波振蕩下于常壓、室 溫腐蝕4～16分鐘取出；(2)清洗，將從腐蝕劑中取出的ZnGeP2晶片浸入反應終止液 中擺動清洗終止反應，再用純凈水清洗至中性，所述反應終止液由質量濃度5％的NaOH 和質量濃度為3％的Na2S2O3配制而成，NaOH與Na2S2O3的體積比＝1∶1；(3)干燥。

產業化應用