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硅片傳輸機器人
所屬領域:
項目成果/簡介:
硅片傳輸機器人是集成電路（IC）制造裝備中的重要設備，也是IC制造裝備中的關鍵技術。本硅片傳輸機器人的特點是高精度、高速度、高潔凈，可滿足半導體制造業中高精度、高凈化的環境要求，控制系統采用基于PC平臺、具有開放式體系結構和網絡功能的機器人控制器。硅片傳輸機器人的技術指標已達到國外同類產品的水平。
硅片傳輸機器人是半導體制造業中必不可少的裝備，其功能是實現不同規格的硅片在不同半導體制造設備以及同一半導體制造設備中不同工位之間快速、高效、可靠的轉移。它可以廣泛應用于具有高精度、高潔凈度要求的半導體制造設備，也可推廣應用于醫藥、化工等行業中，具有廣闊的應用前景。
項目階段:
中試
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