高性能脈沖壓縮光柵和合束光柵研發及應用

化學化工

光柵尺寸在國際上居于領先地位，最大達到了 1400mm， 遠超對手的 940mm；研制了一系列國內首臺(套)具有自主知識產權的米量級光柵研制工藝關鍵設備；在國際上首創了曝光拼接方法，實現了利用小口徑曝光系統，制作出了遠 大于曝光系統口徑的光柵；掌握了脈沖壓縮光柵設計、工 藝容差分析和工藝過程控制技術，通過對曝光監測、顯影監測和刻蝕監測來保證光柵制作工藝的穩定性，保證了光柵制作質量；首次對大口徑高閾值光柵采用了綜合清洗技術處理，提高了光柵的衍射效率和抗激光損傷閾值。 

樣品樣機測試階段 

研制的采樣光柵已全面用于我國的強激光裝置；研制的各種口徑高閾值脈沖壓縮光柵打破了國外對我國的禁運；研制的高閾值合束光柵已服務于國內幾種型號的激光武器系統樣機；研制的寬帶高閾值壓縮光柵將突破國外禁運，為我國飛秒激光的研制和產業化提供核心部件。