光熱探針 -- 半導體離子濃度測試儀

電子信息

光熱探針技術是建立在光聲顯微鏡和激光掃描顯微鏡基礎上，利用調制光反射技術發展起來的一種新型探針技術。利用一束強度調制激光聚焦在樣品表面，對半導體樣品，入射的光能激發的光生載流子，從而引起表面光反射率變化，用另一束探測光可檢測此反射率的變化。由于光生載流子數目直接與注入的離子濃度相關，因此可測定表面注入離子濃度的分布。

    近年來，曾利用本儀器

產業化應用