一種基于稀疏的微小缺陷高頻超聲顯微成像超分辨的方法

其它領(lǐng)域

本發(fā)明屬于稀疏超分辨檢測領(lǐng)域，并公開了一種基于稀疏的微 小缺陷高頻超聲顯微成像超分辨的方法。該方法包括如下步驟:執(zhí)行 過采樣高頻超聲顯微 C-掃成像;根據(jù)過采樣時的采樣步長與超聲探頭 分辨率，計算出探頭點擴(kuò)散函數(shù) k;由點擴(kuò)散函數(shù)根據(jù)進(jìn)行稀疏超分 辨計算，獲得最終高分辨圖像。本發(fā)明方法實現(xiàn)了高頻顯微成像對現(xiàn) 微小缺陷進(jìn)行超分辨顯微成像，增強(qiáng)圖像信噪比和分辨率，提高微小缺陷檢測的準(zhǔn)確性，同時對于微觀缺陷的檢測有著重要的意義，有效 地推動微器件可靠性的發(fā)展。

產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用