一種基于 MEMS 的智能服裝及其制作方法

生物、醫藥及醫療機械

本發明公開了一種基于 MEMS 的智能服裝及其制備方法，可用于采集心電、心音等人體生理參數，該智能服裝的功能是通過將柔性傳感器陣列薄膜與紡織品整合的方式來實現的：首先，在晶圓上采用MEMS 技術分別制作出聲/電換能器及其電氣互聯結構。其次，在晶圓的反面刻蝕出硅島圖形，使得每個傳感器之間相互孤立。再次，在晶圓的正反面旋涂上聚合物，并對其進行光刻圖形化出傳感器窗口以及縫紉孔，即得到柔性傳感器陣列薄膜。聚合物起到對傳感器的保護作用，縫紉孔可用于讓導電纖維將傳感器傳感器陣列薄膜與紡織品縫合于一體，即得到有特

未應用