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一種微型陀螺儀
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.aagg92h.xyz
關鍵詞：
微型陀螺儀
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種磁流體檢測原理的微型陀螺儀，由驅動層、結構層和檢測層三者鍵合而成。驅動層上包含兩個微型電加熱器，分別位于結構層上對應的封閉腔體中，兩封閉腔體分別與結構層上的微流通道和分流通道相連，并被導電流體隔斷，兩微型電加熱器交替加熱封閉腔體中的氣體，導致兩封閉腔體的壓力交替增大，實現導電流體在微流通道和分流通道之間周期往復運動，兩對稱布置的分流通道流量差包含角速度信息，通過磁流體原理檢測兩分流通道流量差，從而獲得角速度信息。本發明結構簡單，不存在活動和振動部件，壽命長，靈敏度和分辨率高，采用微加
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