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MEMS壓力傳感器

2021-04-10 00:00:00
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關(guān)鍵詞: 壓力傳感器
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所屬領(lǐng)域:
電子信息
項(xiàng)目成果/簡介:

自然頻率 55kHz-79 kHz 量程 Normal:9kPa-120kPa Extended:5kPa-160kPa 靈敏度 50-80Hz/kPa 一個大氣壓下(101.3kPa)的諧振頻率 63 kHz-75 kHz 受溫度的影響 15V 1.5V 驅(qū)動電壓 50-80Hz/kPa

項(xiàng)目階段:
產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用
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