本發(fā)明公開(kāi)了一種激光光源的傳輸腔室內(nèi)的溫控與凈化控制系 統(tǒng)，包括：設(shè)置在光路傳輸通道的模塊腔體之前的二級(jí)調(diào)壓閥，用于 調(diào)節(jié)待進(jìn)入模塊腔體的通道中的氣體壓力；設(shè)置在光路傳輸通道的氣 體凈化裝置和模塊腔體之間的毛細(xì)管，用于保證光路傳輸腔室氣壓與 外界氣壓有微正壓；以及設(shè)置在光路傳輸通道的模塊腔體之后的節(jié)流 閥，且每個(gè)模塊腔體之后對(duì)應(yīng)設(shè)置一個(gè)所述的節(jié)流閥，用于調(diào)節(jié)各模 塊腔室與環(huán)境大氣壓的壓差。本發(fā)明還公開(kāi)了相應(yīng)的溫控與凈化控制 方法。本發(fā)明的裝置和方法通過(guò)控制腔體與外界的壓差恒定，同時(shí)通 過(guò)加熱器和熱交