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一種適于頂針快速更換的芯片剝離裝置
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.aagg92h.xyz
關鍵詞：
芯片剝離裝置
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種適于頂針快速更換的芯片剝離裝置，包括頂 針頭機構、傳動機構、頂起驅動機構、Z 向升降機構和二自由度位置 調整機構，其中頂針頭機構配合安裝在傳動機構上，并可實現頂針的 快速更換；傳動機構安裝在頂起驅動機構上，用于傳遞頂針頂起驅動 力同時與頂針頭機構相配合實現頂針罩內腔的真空度；頂起驅動機構 安裝在 Z 向升降機構上，用于提供頂針頂起剝離芯片的驅動力，并對 頂針的頂起高度進行反饋控制；Z 向升降機構則安裝在二自由度位置調整機構上并由其執行 X、Y 向的位置調整之后，再將安裝于自身其 他組
項目階段:
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