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一種白光干涉原子力探針系統(tǒng)的成像自動(dòng)調(diào)整裝置及其控制方 法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會(huì)
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關(guān)鍵詞：
原子力探針
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:
本發(fā)明公開了一種基于白光干涉原子力探針掃描顯微鏡探針系 統(tǒng)的成像自動(dòng)調(diào)整裝置自動(dòng)及其控制方法，該裝置主要包括計(jì)算機(jī)， 夾持機(jī)構(gòu)及鉸鏈機(jī)構(gòu)，原子力探針及其探針組件，白光干涉顯微系統(tǒng)， 面 CCD 光路連接筒。在白光干涉原子力探針顯微鏡連接完成的情況 下，根據(jù)面 CCD 上探針的成像與面 CCD 坐標(biāo)系的水平夾角，通過計(jì)算機(jī)來控制舵機(jī)偏轉(zhuǎn)一定的角度，使得原子力探針在面 CCD 中的成像 與面 CCD 坐標(biāo)系中的夾角在誤差范圍內(nèi)，從而得到測(cè)量的結(jié)果有較小 的測(cè)量誤差。本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)探針在面 CCD 中的成
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