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旋轉器件型光譜橢偏儀系統參數校準方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.aagg92h.xyz
關鍵詞：
光譜橢偏儀
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種用于旋轉器件型光譜橢偏儀系統參數的校準方法，該方法可以在一次測量中獲取旋轉器件型光譜橢偏儀中全光譜范圍的系統參數，其方法是將任意厚度的標準樣件作為待測樣件，使用待校準光譜橢偏儀進行測量，對測量獲得的光強諧波信號進行傅里葉分析，通過傅里葉系數序列計算獲取第一個波長點的系統參數，以其作為初值，采用非線性回歸算法，通過理論光譜擬合測量光譜，獲得第一個波長點的系統參數。并依次以校準獲得的第 i 個波長點的系統參數作為初值，擬合獲得第 i+1 個波長點的系統參數，進而獲得全光譜范圍的系統參數。
項目階段:
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