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橢偏儀測量系統的隨機誤差評估方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.aagg92h.xyz
關鍵詞：
橢偏儀測量系統
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種評估橢偏儀測量系統的隨機誤差的方法。該方法首先建立橢偏儀測量系統的系統模型和系統傳遞函數，然后通過分析橢偏儀測量系統的隨機噪聲的來源及特點，建立適用于具體配置類型橢偏儀測量系統的隨機噪聲模型，最后根據傳遞函數和隨機噪聲模型，推導隨機噪聲的傳遞模型，從而計算評估系統的隨機誤差。評估儀器隨機誤差的一般方法是進行多次測量，然后根據多次測量結果的分布情況評估測量系統的隨機誤差，本發明方法通過建立隨機噪聲模型和計算隨機噪聲傳遞特性，可以在一次測量中評估橢偏儀測量系統的隨機誤差。適用于現有多種配
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