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一種旋轉補償器型橢偏儀的系統誤差評估及消除方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.aagg92h.xyz
關鍵詞：
旋轉補償器型橢偏儀
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種旋轉補償器型橢偏儀系統誤差評估及消除方法該方法，包括首先建立待優化橢偏儀的系統模型，并求的待測樣品穆勒矩陣解析表達式；然后通過對泰勒展開，獲得 n 階旋轉補償器型橢偏儀橢儀系統誤差與元件誤差之間的關系。最后改變旋轉補償器型橢偏儀起檢器與檢偏器方位角，經過四次測量，并求得四次測量結果的均值，這個均值就是已消除了橢偏儀系統誤差的待測樣品的穆勒矩陣。本發明方法可以獲得旋轉補償器型橢偏儀由元件誤差導致的系統誤差的解析表達式，計算過程明確，系統誤差的消除方法操作簡單可行，可以適用于現有不同結構
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