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用于雙旋轉補償器橢偏儀的菲涅爾棱鏡相位延遲器

2021-04-14 00:00:00
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所屬領域:
高端裝備制造
項目成果/簡介:

本發明公開了一種菲涅爾棱鏡相位延遲器,其由兩斜方棱鏡各以其一端的傾斜底面相互貼合形成對稱結構而構成,通過選擇相應折射率的棱鏡材料以及確定斜方棱鏡斜角,入射光束經其中一個斜方棱鏡另一端的傾斜底面垂直入射到該斜方棱鏡,經其相對的兩側面依次進行兩次全反射后通過兩斜方棱鏡的貼合面入射到另一斜方棱鏡,并同樣經該斜方棱鏡的相對的兩側面依次進行兩次全反射后出射,即可得到該雙旋轉補償器穆勒矩陣橢偏儀所需求的相位延遲量。該相位延遲器能夠在包括紫外、可見以及紅外的波段內實現良好的消色差性能,并且對光束入射角不敏感,同時

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