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一種高質(zhì)量氧化鋁陶瓷的刻蝕加工方法及裝置

2021-04-14 00:00:00
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關(guān)鍵詞: 氧化鋁陶瓷
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所屬領(lǐng)域:
高端裝備制造
項(xiàng)目成果/簡介:

本發(fā)明公開了一種氧化鋁陶瓷的刻蝕加工方法及裝置,該方法

使?jié)崈舻难趸X陶瓷整體位于水中,水表面到氧化鋁陶瓷材料表面距

離為 2mm~12mm,利用紫外脈沖激光對氧化鋁陶瓷進(jìn)行掃描刻蝕加

工,刻蝕加工后的氧化鋁陶瓷表面無發(fā)黑變質(zhì)層和重凝層。裝置包括

紫外激光器、掃描振鏡,二維加工平臺(tái),以及用于裝水和待加工的氧

化鋁陶瓷的容器。本發(fā)明巧妙的引入“水”的因素,在一定厚度或一

定流速的水下對氧化鋁陶瓷進(jìn)行激光刻蝕的冷卻和排渣

項(xiàng)目階段:
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