一種主動式氣浮支承裝置

其它領域

本發明公開了一種主動式氣浮支承裝置，包括氣浮支承本體、氣膜主動調節單元、支承本體檢測單元和驅動控制單元，其中支承本體檢測裝置測量氣浮支承的狀態，驅動控制系統根據檢測信號生成控制信號，驅動控制氣膜主動調節裝置產生主動作用，動態調節氣浮支承表面的氣膜形態，由此動態調整氣浮支承裝置的氣膜間隙壓強分布，從而提高氣浮支承的動剛度特性。通過本發明，能夠顯著提高氣浮支承的動剛度特性，并達到穩定氣浮支承的目的；此外，按照本發明的主動式氣浮支承裝置還具備結構緊湊、便于操控和高精度的特點，因而尤其適用于對支承動剛度要求

未應用