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一種三維存儲(chǔ)器及其制備方法

2021-04-14 00:00:00
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關(guān)鍵詞: 三維存儲(chǔ)器
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本發(fā)明的目的在于提供一種三維存儲(chǔ)器及其制備方法,此發(fā)明

三維存儲(chǔ)器由多層存儲(chǔ)器垂直堆疊而成,每層包括:條狀電極;電熱

絕緣層;電熱絕緣層中間的小孔;位于小孔中的 n 型半導(dǎo)體材料插塞

·446·柱和 p 型存儲(chǔ)材料插塞柱;該存儲(chǔ)器可獨(dú)立對(duì)每個(gè)單元進(jìn)行讀寫。該

存儲(chǔ)器選取 p 型存儲(chǔ)介質(zhì)與 n 型半導(dǎo)體材料形成 pn 結(jié),所選取的 p 型

存儲(chǔ)材料具有雙重功能,既是存儲(chǔ)介質(zhì)也是選通管一部分。存儲(chǔ)器自

帶選通管,不要額外

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