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一種偏振衍射光柵結構

2021-04-14 00:00:00
云上高博會 http://www.aagg92h.xyz
關鍵詞: 光柵結構
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所屬領域:
電子信息
項目成果/簡介:

本發明公開了一種偏振衍射光柵結構,包括基底層、光柵層,

其特征在于:光柵層的各塊狀區域柵條方向、周期、占空比不同;光

柵層位于基底層上方,需經過曝光、顯影、刻蝕形成光柵層;本發明

可以克服傳統偏振衍射光柵參數調整只有一個自由度的缺點,從三個

自由度來控制光柵透射光的分布,以達到任意光束的分束/合束功能,

其理論分/合束效率達 99%,且光柵器件的體積小,可應用在抗反射器、

相干偏振合束、測量 Stokes 參量、生物

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