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超凈高純微電子化學品制備技術
2021-04-13 00:00:00
云上高博會
http://www.aagg92h.xyz
關鍵詞：
微電子化學品
所屬領域:
項目成果/簡介:
微電子化學品是電子技術微細加工制作過程中不可缺少的關鍵性基礎化工材料之一，主要
用于半導體制造過程，用以沖洗晶片及制作研磨劑、蝕刻劑和光刻膠去除劑等。本項目采用吸
附-離子交換-膜分離集成純化制備了超凈高純電子化學品制備技術，成功制備了超大規模集成
電路用超凈高純過氧化氫等微電子化學品，產品性能達到超凈高純級過氧化氫（SEMI-C12，
金屬離子雜質低于0.1ppb）?！澳透邼舛入p氧水膜及其雙氧水純化裝置的開發”上海市科學技術
委員會2003年鑒定，達國際先進水平；“ULSI用超純氨水和超純硝酸試劑純化的研究”上海市
科學技術委員會2006年鑒定，達國際先進水平；“863”計劃項目1項“ULSI超純試劑制備工藝研
究子項目年產500噸超凈高純過氧化氫連續制備試驗的技術開發”（編號：2002AA3Z1310）通
過專家驗收；發明專利一項。
項目階段:
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