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上海交通大學
上海交通大學 教育部
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新型諧振MEMS微慣性傳感器

2021-04-13 00:00:00
云上高博會 http://www.aagg92h.xyz
關鍵詞: 慣性傳感器
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所屬領域:
電子信息
項目成果/簡介:

針對我國在軍事、工業等領域對高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微慣性傳感器日益迫切的需求,上海交通大學自2001年起就開展基于MEMS技術的微慣性傳感器的研究,已成功研制十余款傳感器樣機,在研的半球諧振微陀螺、圓盤多環微陀螺等預期體積小于1cm3,成本低于50美元,功耗低于100mW,有望達到慣性級,在微小衛星、微航天器等場合極具應用潛力。與傳統的微陀螺相比,該陀螺無運動部件,抗沖擊性更好;同時該陀螺可以采用角速度檢測和角速度積分檢測兩種工作模式,極大的提升了其應用場合與范圍,特別適合在高G環境下進行空間位置測量、導航與姿態控制等。此外,其在消費電子市場以及汽車市場也擁有這巨大的應用空間,如手機、游戲機等手持電子設備的姿態控制系統,照相機、攝像機的穩定電子平臺,汽車的防翻車預警系統等。。相關研究內容作為重要組成部分曾獲省部級及以上獎勵多次,授權發明專利幾十余項,微陀螺方面的專利國內第一,國際第二,發表SCI/EI等論文幾十篇。

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