半導體制造系統生產調度

其它領域

作為被公認為最復雜制造過程之一的半導體制造過程，其調度與控制是影響企業競 爭力的關鍵因素。半導體制造調 度介 于生產計劃和設備控制之間，是 在滿 足約束限制下，通過合理分配資 源來 優化各生產性能指標。針對我國 目前 多數半導體企業的生產管理仍 由人 工完成的現狀，迫切要求提升生 產管 理的自動化，而調度與仿真軟件 正是 有效支持生產管理決策的最佳 工具。 由同濟大學研發的硅片制造 生產 線調度與仿真系統（TB-PSS），能夠輔助管理人員進行生產調度決策，供現場操作人員參考完 成生產調度任務。 應用表明，TB-PSS 系統能夠減少 帶班經理交接班時間，提高工作效率； 優化瓶頸設備操作次序，提高非瓶頸 設備利用率。對提高半導體制造生產 線的管理水平具有積極的意義。

產業化應用