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基于干涉條紋形狀的二維小角度測量裝置

2021-01-12 00:00:00
云上高博會 http://www.aagg92h.xyz
關鍵詞: 二維測量
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所屬領域:
先進制造與自動化
項目成果/簡介:

研發(fā)階段/n本發(fā)明公開了一種基于干涉條紋形狀的二維小角度測量裝置,屬于精密測量技術領域。該裝置包括激光器、分光鏡、目標反射鏡、參考反射鏡和四象限接收器,目標反射鏡固定在被測物體上。激光調制器對激光器發(fā)出的光束進行調制,被調制的光束經(jīng)分光鏡后分為兩束,這兩束光分別經(jīng)目標反射鏡和參考反射鏡反射后再返回分光鏡,會聚產(chǎn)生動態(tài)干涉條紋,當被測物體繞z軸有角度變化時,動態(tài)干涉條紋的寬度將發(fā)生變化,當被測物體繞x軸有角度變化時,動態(tài)干涉條紋的寬度和方向同時改變。動態(tài)干涉條紋用四象限光電接收器接收后轉為電信號,該信

項目階段:
小批量或小范圍應用
知識產(chǎn)權編號:
200910061971
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