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西北工業大學
西北工業大學 工業和信息化部
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西北工業大學六英寸雙面光刻機項目

2022-09-06 16:56:10
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招標單位:
西北工業大學
招標年份:
2022 年
所屬地區:
陜西省西安市
招標類型:
產品招標
采購方式:
公開招標
項目概況:
項目基本情況:
項目編號:西工大招采(貨)-2022-078號
項目名稱:西北工業大學六英寸雙面光刻機項目
預算金額:330 萬元
采購需求:

項目概況: 六英寸雙面光刻機主要用于微電子、MEMS微納圖形加工工藝中高精度的紫外曝光工藝,能夠實現4英寸晶圓和6英寸晶圓的雙面光刻,具有正面和背面掩膜對準功能,具有手動對準和全自動對準兩種對準模式,具有軟接觸、硬接觸、接近和真空四種模式的曝光功能,能實現亞微米分辨率光刻。

工期/供貨期:自中標通知書發出之日起270日歷天

合同履行期限:詳見附件正文
申請人資格要求:

1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定;

2.落實政府采購政策需滿足的資格要求:

《政府采購貨物和服務項目管理辦法》

3.本項目的特定資格要求:3.1投標人應具有獨立法人資格,具備有效的企業法人營業執照(具有統一社會信用代碼)。3.2投標人出具有效的法定代表人身份證明書、法定代表人授權委托書。3.3法定代表人身份證(正反面)和被授權人身份證(正反面)。3.4本項目不接受聯合體投標。? 3.5投標人(及擬派項目負責人)無不良行為記錄且當前招投標資格狀態有效,相關信息查詢以政府誠信平臺和學校不良行為記錄為準,其中政府誠信平臺是指信用中國、國家企業信用信息公示系統。

獲取招標文件:
時間:2022年09月07日 至 2022年09月14日,每天上午8:00至14:00,下午12:00至21:00。(北京時間,法定節假日除外)
地點:詳見附件正文
方式:詳見附件正文
售價:300 元
提交投標文件截止時間、開標時間和地點:
截止時間:2022-10-09 09:00
開標時間:2022-10-09 09:00
地點:西北工業大學勇字樓120
公告期限:自本公告發布之日起5個工作日。
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