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上海交通大學高深寬比介質干法刻蝕系統
上海交通大學高深寬比介質干法刻蝕系統 招標項目的潛在投標人應在上海市虹口區四平路200號盛泰國際大廈606室獲取招標文件，并于2023年01月31日 10點30分（北京時間）前遞交投標文件。
設備名稱： 高深寬比介質干法刻蝕系統
數量：1套
簡要技術參數：1.1設備配備反應腔和傳送腔，設置于設備整體的外框架內，配有保護擋板并做排風處理；內部部件不能直接裸露，具有良好的一體性和安全防護功能；其余詳見“第八章貨物需求一覽表及技術規格”。
設備用途：高深寬比介質干法刻蝕系統可產生低壓、低電子溫度、高密度的等離子，主要用于高深寬比SiO2及玻璃的RIE刻蝕。
交貨期：合同簽訂后 18 個月以內
交付地點：上海交通大學用戶指定地點
1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定；
2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：
本項目為機電產品國際招標項目，相關法規與政策均按照《機電產品國際招標投標實施辦法（試行）》執行。
3.本項目的特定資格要求：1）投標人為制造商時，須提供制造商資格聲明函（見格式 IV-9-2）；投標人為代理商時，須提供資格聲明函（見格式 IV-9-3）及制造商提供的針對本項目的授權書（見格式 IV-9-4）；2）投標人開戶銀行在開標日前三個月內開具的資信證明原件或復印件；3）投標人須在投標截止期之前在國家商務部指定的機電產品招標投標電子交易平臺（以下簡稱機電產品交易平臺，網址為：http://www.chinabidding.com）上完成有效注冊；4）不接受聯合體投標。
1.標書費、投標保證金、中標服務費專用賬戶：
招標代理機構開戶銀行(人民幣):中國建設銀行上海斜橋支行
招標代理機構開戶銀行(美元):中國建設銀行上海黃浦支行
賬號(人民幣):31001514800050010790
賬號(美元):31001514800050010790
戶名：中金招標有限責任公司上海分公司
2.本項目為國際招標，招標公告詳見機電產品招標投標電子交易平臺。
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